Contrôle de pression différentielle dans les salles propres

Le contrôle de la différence de pression est le lien clé pour assurer le fonctionnement normal de la salle blanche. La différence de pression appropriée peut effectivement empêcher l'intrusion de l'air pollué externe et garantir que la qualité de l'air dans la salle blanche répond aux exigences de production ou expérimentales.

Différentes zones de la salle blanche ont des exigences différentes pour les niveaux de propreté, et une planification raisonnable de zonage est la base du contrôle de la pression différentielle. Par exemple, dans les usines de fabrication de semi-conducteurs ayant des besoins élevés de propreté, la zone centrale de la fabrication des puces est souvent fixée au niveau de propreté le plus élevé, tel que ISO1 ou ISO2. Cette zone est entourée de zones d'entretien des équipements, de zones de transfert de matériaux, etc., et leurs niveaux de propreté sont successivement réduits, comme ISO7 ou ISO8. Cette disposition de niveau propre diminuant progressivement du noyau à la périphérie permet à l'air de circuler naturellement de la zone propre élevée à la zone à faible propre zone, formant un environnement propice à un contrôle de pression différentielle.

La porte et la fenêtre de la salle blanche ont un impact important sur la stabilité de la différence de pression. Le choix de la porte est crucial, devrait choisir un bon matériau d'étanchéité et une bonne structure, tels que des portes scellées gonflables ou avec des portes de traduction de joint en caoutchouc double. Faites un bon traitement d'étanchéité entre le cadre de la fenêtre et le mur, comme l'utilisation de bandes d'étanchéité pour combler l'écart, ce qui peut réduire la différence de pression instable causée par la pénétration de l'air.

Le verrouillage d'air entre la salle potable et la zone impure est essentiel pour maintenir la différence de pression lorsque les gens et les matériaux entrent et sortent de la salle blanche. Dans un atelier propre à semi-conducteur, le personnel entre dans le casier à air avant d'entrer dans la salle propre depuis le vestiaire. Les deux portes du boîtier ne peuvent pas être ouvertes en même temps, et en ajustant la pression dans la salle de verrouillage pour le faire entre la salle blanche et la zone extérieure, l'entrée directe de l'air extérieur peut être réduite efficacement, aidant ainsi à maintenir la différence de pression dans la salle blanche. Dans le même temps, l'alimentation à air et l'air d'échappement du verrouillage d'air doivent être contrôlés séparément, et la fréquence d'échange d'air appropriée doit être réglée en fonction de la situation réelle, généralement 10 à 20 fois par heure, pour s'assurer que le bloc de blocage d'air peut jouer un bon rôle de tampon et de réglementation de pression dans le processus de personnel et de matériaux entrant et sortant.

Pour les matériaux entrant dans la salle propre, une fenêtre de transfert peut être utilisée. La fenêtre de transfert est équipée d'un dispositif de verrouillage et d'un filtre à haute efficacité. Lorsque le matériau externe est placé dans la fenêtre de transfert, la porte extérieure est fermée. Après la purification et l'équilibre de la pression, la porte intérieure est ouverte et le matériau est placé dans la salle blanche. Cette méthode peut éviter la grande quantité d'échange d'air causée par les matériaux entrant et sortant et affectant la différence de pression dans la salle blanche.