Differenzdruckregelung in sauberen Räumen

Die Kontrolle der Druckdifferenz ist die wichtigste Verbindung, um den normalen Betrieb des sauberen Raums zu gewährleisten. Die geeignete Druckdifferenz kann das Eindringen von externer verschmutzter Luft wirksam verhindern und sicherstellen, dass die Luftqualität im Reinraum den Produktions- oder experimentellen Anforderungen entspricht.

Verschiedene Bereiche des sauberen Raums haben unterschiedliche Anforderungen an Sauberkeitsniveaus, und eine angemessene Zonierungsplanung ist die Grundlage für die Differenzdruckkontrolle. Beispielsweise wird in Halbleiterherstellungsanlagen mit hohen Sauberkeitsanforderungen der Kernbereich der Chipherstellung häufig auf das höchste Sauberkeitsniveau wie ISO1 oder ISO2 eingestellt. Dieser Bereich ist von Ausrüstungswartungsbereichen, Materialtransferbereichen usw. umgeben, und ihre Sauberkeitsniveaus werden nacheinander reduziert, wie ISO7 oder ISO8. Dies verringert nach und nach das Layout des sauberen Niveaus vom Kern bis zur Peripherie, um die Luft auf natürliche Weise vom hohen sauberen Bereich bis zum niedrigen sauberen Bereich zu fließen und eine Umgebung zu bilden, die der Differenzdruckregelung fördert.

Die Tür und das Fenster des sauberen Raums haben einen wichtigen Einfluss auf die Stabilität des Druckunterschieds. Die Wahl der Tür ist von entscheidender Bedeutung, sollte ein gutes Versiegelungsmaterial und eine gute Struktur wie aufblasbare versiegelte Türen oder mit Doppel -Gummi -Dichtungs -Übersetzungstüren wählen. Führen Sie eine gute Versiegelungsbehandlung zwischen dem Fensterrahmen und der Wand durch, z.

Der Luftschlossraum zwischen dem sauberen Raum und dem unreinen Bereich ist unerlässlich, um den Druckunterschied zu erhalten, wenn Menschen und Materialien den sauberen Raum betreten und verlassen. In einer Semiconductor Clean Workshop betreten das Personal in den Luftschlossraum, bevor sie den sauberen Raum aus der Umkleidekabine betreten. Die beiden Türen des Schlossraums können nicht gleichzeitig geöffnet werden, und indem der Druck im Schließraum eingestellt wird, um zwischen dem sauberen Raum und dem Außenbereich zu schaffen, kann der direkte Eintritt von Außenluft effektiv reduziert werden, wodurch die Druckdifferenz im Reinraum aufrechterhalten wird. Gleichzeitig sollte die Luftversorgung und die Abgasluft des Luftverriegelungsraums separat gesteuert werden, und die entsprechende Luftaustauschfrequenz sollte entsprechend der tatsächlichen Situation eingestellt werden, im Allgemeinen 10-20-mal pro Stunde, um sicherzustellen, dass der Luftverriegelungsraum bei den Ein- und Verlassen des Personals und der Abreise eine gute Rolle und Druckregulierungsrolle spielen kann.

Für Materialien, die in den sauberen Raum eintreten, kann ein Übertragungsfenster verwendet werden. Das Übertragungsfenster ist mit einem Verriegelungsgerät und einem hohen Effizienzfilter ausgestattet. Wenn das externe Material in das Übertragungsfenster gesteckt wird, ist die Außentür geschlossen. Nach der Reinigung und Druckausgleich wird die innere Tür geöffnet und das Material in den sauberen Raum gelegt. Diese Methode kann die große Menge an Luftaustausch vermeiden, die durch ein Materials, das die Druckdifferenz im sauberen Raum eintritt und verlässt, verursacht wird.