Control de presión diferencial en habitaciones limpias

El control de la diferencia de presión es el enlace clave para garantizar el funcionamiento normal de la habitación limpia. La diferencia de presión adecuada puede evitar efectivamente la intrusión de aire contaminado externo y garantizar que la calidad del aire en la sala limpia cumpla con los requisitos de producción o experimentales.

Las diferentes áreas de la sala limpia tienen diferentes requisitos para los niveles de limpieza, y la planificación razonable de zonificación es la base del control de presión diferencial. Por ejemplo, en las plantas de fabricación de semiconductores con altos requisitos de limpieza, el área central de la fabricación de chips a menudo se establece en el nivel de limpieza más alto, como ISO1 o ISO2. Esta área está rodeada de áreas de mantenimiento de equipos, áreas de transferencia de materiales, etc., y sus niveles de limpieza se reducen sucesivamente, como ISO7 o ISO8. Esta disminución gradualmente del diseño de nivel limpio desde el núcleo a la periferia permite que el aire fluya naturalmente desde el área limpia altas hasta el área baja, formando un entorno propicio para el control de presión diferencial.

La puerta y la ventana de la sala limpia tienen un impacto importante en la estabilidad de la diferencia de presión. La elección de la puerta es crucial, debe elegir un buen material y estructura de sellado, como puertas selladas inflables o con puertas de traducción de sello doble de goma. Haga un buen tratamiento de sellado entre el marco de la ventana y la pared, como el uso de tiras de sellado para llenar el vacío, lo que puede reducir la diferencia de presión inestable causada por la penetración del aire.

El vestuario de aire entre la sala limpia y el área inmunda es esencial para mantener la diferencia de presión cuando las personas y los materiales entran y salen de la sala limpia. En un taller limpio de semiconductores, el personal ingresa al vestuario de aire antes de entrar en la sala limpia desde el vestuario. Las dos puertas del vestuario no se pueden abrir al mismo tiempo, y ajustando la presión en el vestuario para lograrlo entre la sala limpia y el área exterior, la entrada directa de aire exterior puede reducirse efectivamente, lo que ayuda a mantener la diferencia de presión en la sala limpia. Al mismo tiempo, el suministro de aire y el aire de escape del vestuario de aire deben controlarse por separado, y la frecuencia de intercambio de aire apropiada debe establecerse de acuerdo con la situación real, generalmente de 10 a 20 veces por hora, para garantizar que el salón de aire pueda desempeñar un buen papel de regulación de búfer y presión en el proceso de personal y materiales que ingresan y salen.

Para los materiales que ingresan a la sala limpia, se puede usar una ventana de transferencia. La ventana de transferencia está equipada con un dispositivo de bloqueo y un filtro de alta eficiencia. Cuando el material externo se coloca en la ventana de transferencia, la puerta exterior está cerrada. Después de la purificación y el equilibrio de presión, se abre la puerta interna y el material se coloca en la sala limpia. Este método puede evitar la gran cantidad de intercambio de aire causado por el material que ingresa y sale y afecte la diferencia de presión en la sala limpia.