التحكم في الضغط التفاضلي في الغرف النظيفة

التحكم في اختلاف الضغط هو الرابط الرئيسي لضمان التشغيل العادي للغرفة النظيفة. يمكن أن يمنع اختلاف الضغط المناسب بشكل فعال اقتحام الهواء الملوث الخارجي ويضمن أن جودة الهواء في الغرفة النظيفة تلبي المتطلبات الإنتاجية أو التجريبية.

مناطق مختلفة من الغرفة النظيفة لها متطلبات مختلفة لمستويات النظافة ، والتخطيط المعقول للتقسيم هو أساس التحكم في الضغط التفاضلي. على سبيل المثال ، في مصانع تصنيع أشباه الموصلات ذات المتطلبات العالية للنظافة ، غالبًا ما يتم ضبط المساحة الأساسية لتصنيع الرقائق على أعلى مستوى نظافة ، مثل ISO1 أو ISO2. هذه المنطقة محاطة بمناطق صيانة المعدات ، ومناطق نقل المواد ، وما إلى ذلك ، ويتم تقليل مستويات النظافة الخاصة بها على التوالي ، مثل ISO7 أو ISO8. يتيح هذا التخطيط المتناقص تدريجياً من اللب إلى المحيط أن يتدفق الهواء بشكل طبيعي من المنطقة النظيفة العالية إلى المساحة النظيفة المنخفضة ، مما يشكل بيئة مواتية للتحكم في الضغط التفاضلي.

باب ونافذة الغرفة النظيفة لها تأثير مهم على استقرار فرق الضغط. يعد اختيار الباب أمرًا بالغ الأهمية ، ويجب اختيار مادة وهيكل ختم جيد ، مثل الأبواب المختومة القابلة للنفخ أو مع أبواب ترجمة ختم مطاط مزدوج. قم بمعالجة ختم جيدة بين إطار النافذة والجدار ، مثل استخدام شرائط الختم لملء الفجوة ، والتي يمكن أن تقلل من اختلاف الضغط غير المستقر الناجم عن تغلغل الهواء.

تعد غرفة قفل الهواء بين الغرفة النظيفة والمنطقة غير النظيفة ضرورية للحفاظ على اختلاف الضغط عندما يدخل الأشخاص والمواد في الغرفة النظيفة والخروج منها. في ورشة عمل نظيفة أشباه الموصلات ، يدخل الموظفون غرفة قفل الهواء قبل الدخول إلى الغرفة النظيفة من غرفة الملابس. لا يمكن فتح بابين غرفة القفل في نفس الوقت ، ومن خلال ضبط الضغط في غرفة القفل لجعله بين الغرفة النظيفة والمنطقة الخارجية ، يمكن تقليل الدخول المباشر للهواء الخارجي بشكل فعال ، وبالتالي يساعد على الحفاظ على اختلاف الضغط في الغرفة النظيفة. في الوقت نفسه ، يجب التحكم في إمدادات الهواء وهواء العادم في غرفة قفل الهواء بشكل منفصل ، ويجب ضبط تردد تبادل الهواء المناسب وفقًا للوضع الفعلي ، عمومًا 10-20 مرة في الساعة ، لضمان أن غرفة قفل الهواء يمكن أن تلعب دورًا عازمًا وتنظيم الضغط الجيد في عملية الموظفين والمواد التي تدخل وتترك.

بالنسبة للمواد التي تدخل الغرفة النظيفة ، يمكن استخدام نافذة نقل. تم تجهيز نافذة النقل بجهاز تعشيق ومرشح عالية الكفاءة. عندما يتم وضع المادة الخارجية في نافذة النقل ، يتم إغلاق الباب الخارجي. بعد تنقية التوازن والضغط ، يتم فتح الباب الداخلي ويتم وضع المادة في الغرفة النظيفة. يمكن أن تتجنب هذه الطريقة الكمية الكبيرة من تبادل الهواء الناجم عن دخول المواد وتتركها وتؤثر على اختلاف الضغط في الغرفة النظيفة.