Controle de pressão diferencial em salas limpas

O controle da diferença de pressão é o link chave para garantir a operação normal da sala limpa. A diferença de pressão apropriada pode efetivamente impedir a intrusão de ar poluído externo e garantir que a qualidade do ar na sala limpa atenda aos requisitos de produção ou experimental.

Diferentes áreas da sala limpa têm requisitos diferentes para níveis de limpeza, e o planejamento razoável de zoneamento é a base do controle de pressão diferencial. Por exemplo, em fábricas de semicondutores com requisitos de altos limpeza, a área central da fabricação de chips é frequentemente definida para o nível de limpeza mais alto, como ISO1 ou ISO2. Essa área é cercada por áreas de manutenção de equipamentos, áreas de transferência de materiais etc., e seus níveis de limpeza são sucessivamente reduzidos, como ISO7 ou ISO8. Esse layout de nível limpo gradualmente diminuindo do núcleo para a periferia permite que o ar flua naturalmente da área limpa alta para a área baixa limpa, formando um ambiente propício ao controle de pressão diferencial.

A porta e a janela da sala limpa têm um impacto importante na estabilidade da diferença de pressão. A escolha da porta é crucial, deve escolher um bom material e estrutura de vedação, como portas seladas infláveis ​​ou com portas de tradução de vedação de borracha dupla. Faça um bom tratamento de vedação entre a estrutura da janela e a parede, como o uso de tiras de vedação para preencher a lacuna, o que pode reduzir a diferença de pressão instável causada pela penetração do ar.

A sala de trava de ar entre a sala limpa e a área impura é essencial para manter a diferença de pressão quando as pessoas e os materiais entram e saem da sala limpa. Em uma oficina limpa de semicondutores, o pessoal entra na sala de trava de ar antes de entrar na sala limpa do camarim. As duas portas da sala de trava não podem ser abertas ao mesmo tempo e, ao ajustar a pressão na sala de trava para fazê -lo entre a sala limpa e a área externa, a entrada direta do ar externo pode ser efetivamente reduzida, ajudando assim a manter a diferença de pressão na sala limpa. Ao mesmo tempo, o suprimento de ar e o ar de exaustão da sala de trava de ar devem ser controlados separadamente, e a frequência de troca de ar apropriada deve ser definida de acordo com a situação real, geralmente 10-20 vezes por hora, para garantir que a sala de trava de ar possa desempenhar um bom papel de buffer e regulação de pressão no processo de pessoal e entrada de materiais.

Para materiais que entram na sala limpa, uma janela de transferência pode ser usada. A janela de transferência está equipada com um dispositivo de intertravamento e filtro de alta eficiência. Quando o material externo é colocado na janela de transferência, a porta externa é fechada. Após a purificação e o equilíbrio da pressão, a porta interna é aberta e o material é colocado na sala limpa. Esse método pode evitar a grande quantidade de troca de ar causada pela entrada de materiais, saindo e afetando a diferença de pressão na sala limpa.