Introducción al sistema de suministro de productos químicos para salas blancas

1. Descripción general

En las salas blancas de la industria electrónica, los sistemas químicos incluyen principalmente productos químicos ácido-base, disolventes y productos químicos de pulido. En las salas blancas de la industria farmacéutica, los productos químicos más utilizados incluyen ácidos y bases, disolventes y materias primas. Las salas blancas de la industria electrónica que más productos químicos utilizan son principalmente las plantas de fabricación de obleas de circuitos integrados y de pantallas planas. En generaciones anteriores de plantas de fabricación, debido a la menor cantidad de productos químicos utilizados, la mayoría de las fábricas utilizaban la manipulación manual para transportarlos directamente a los equipos de producción y verterlos en tanques químicos; sin embargo, las plantas actuales de fabricación de obleas o paneles utilizan una mayor variedad y cantidad de productos químicos, por lo que suelen contar con salas centralizadas de almacenamiento y distribución que suministran los productos químicos necesarios a los equipos del proceso de producción a través de tuberías (incluidas las cajas de válvulas, etc.). Estos productos químicos se utilizan en diversos procesos de fabricación, como el grabado, la fotolitografía, el dopaje y la limpieza de obleas o pantallas planas. Tras su uso, los productos químicos suelen reciclarse y reutilizarse, o bien devolverse al fabricante o a la planta de procesamiento correspondiente para su reciclaje y reutilización. Esto no solo representa la reutilización de recursos, sino que también reduce la contaminación ambiental causada por las emisiones. Por lo tanto, las salas blancas suelen contar con sistemas de suministro y reciclaje de productos químicos. Las siguientes secciones describen los sistemas de suministro y reciclaje de productos químicos.

2. Sistema y equipo de suministro de productos químicos

El sistema de suministro de productos químicos suele constar de una fuente de suministro, una unidad de mezcla o dilución, una unidad de suministro y dispositivos de monitorización. La fuente de suministro, también conocida como unidad de reposición, suele referirse a bidones (tanques) o camiones cisterna. La elección de la fuente de suministro depende de la cantidad de productos químicos necesaria para el proceso de fabricación; para pequeñas cantidades, se suelen utilizar bidones, mientras que para grandes cantidades se suelen utilizar tanques fijos o camiones cisterna. En los últimos años, las plantas de fabricación de chips de circuitos integrados y de pantallas de cristal líquido TFT-LCD han utilizado una gran variedad y cantidad de productos químicos. Si bien existen diferencias tanto en los tipos como en las cantidades de productos químicos utilizados, sus sistemas de suministro son fundamentalmente similares. El siguiente diagrama muestra el sistema básico de suministro de productos químicos en este tipo de empresas. El sistema de suministro de productos químicos en una sala limpia suele constar de un armario (o caja) de suministro, un sistema de tuberías de suministro y un sistema de monitorización. El armario suele contener tanques de almacenamiento diario, válvulas y tuberías. El sistema de suministro consta principalmente de tuberías y cajas de válvulas de distribución. Actualmente, con el rápido desarrollo de la industria de fabricación de microelectrónica de mi país, se han construido y puesto en funcionamiento muchos tipos de sistemas químicos en salas blancas para la fabricación de obleas de circuitos integrados y dispositivos de visualización de panel plano, satisfaciendo los requisitos de varias empresas en cuanto a la calidad y cantidad de productos químicos utilizados en sus procesos de fabricación de productos.

La caja de distribución de válvulas (VMB) en el sistema de suministro de productos químicos es una caja de operación de válvulas que permite que la tubería de suministro de productos químicos abastezca simultáneamente a dos o más unidades de equipos de producción. Según los requisitos de diseño de las tuberías de suministro de productos químicos en la planta de producción de la industria electrónica, también se pueden instalar cajas de distribución de válvulas en el sistema de suministro para suministrar productos químicos a dos o más cajas de distribución de válvulas. El propósito de la caja de distribución de válvulas es garantizar un funcionamiento estable y seguro, proteger al personal y las instalaciones relacionadas de daños, y cumplir con los requisitos de los puntos de uso de productos químicos de cada equipo de producción en cuanto a tipo y cantidad, asegurando que los líquidos químicos no se derramen durante el transporte. Por lo tanto, el número de tuberías de distribución en la caja de distribución de válvulas debe determinarse según los requisitos del proceso de fabricación del producto, y se deben reservar juntas de expansión. Cada tubería de distribución debe estar equipada con una válvula de cierre (manual o automática) y una válvula de drenaje. Se debe instalar una válvula de drenaje para fugas o mantenimiento en la parte inferior de la caja de distribución de válvulas. La caja de distribución de válvulas debe tener un puerto de ventilación conectado al dispositivo de tratamiento de gases de escape correspondiente. Dado que la puerta de la caja del colector de válvulas debe abrirse con frecuencia para su operación y mantenimiento, se debe instalar un pestillo de resorte de fácil apertura. Por razones de seguridad y para la necesidad de purga con nitrógeno, la caja del colector de válvulas debe soportar una presión de 0,01 MPa.

Maquinaria farmacéutica de Suzhou Co., Ltd.

2026/03/11

Gino