Introduction au système d'approvisionnement en produits chimiques pour salles blanches

1. Aperçu

Dans les salles blanches de l'industrie électronique, les systèmes chimiques utilisent principalement des produits acides et basiques, des solvants et des produits de polissage. Dans les salles blanches de l'industrie pharmaceutique, on utilise couramment des acides et des bases, des solvants et des matières premières. Les salles blanches de l'industrie électronique qui consomment le plus de produits chimiques sont principalement celles des usines de fabrication de plaquettes de circuits intégrés et d'écrans plats. Dans les anciennes générations d'usines, en raison des faibles quantités de produits chimiques utilisées, la plupart des sites de production avaient recours à la manutention manuelle pour transporter les produits directement aux équipements et les verser dans des cuves. Aujourd'hui, les usines de fabrication de plaquettes ou d'écrans utilisent une plus grande variété et de plus grandes quantités de produits chimiques. Elles disposent donc généralement de salles de stockage et de distribution centralisées qui alimentent les équipements de production en produits chimiques nécessaires via des canalisations (comprenant des boîtes à vannes, etc.). Ces produits chimiques sont utilisés dans divers procédés de fabrication, tels que la gravure, la photolithographie, le dopage et le nettoyage des plaquettes ou des écrans plats. Après utilisation, les produits chimiques doivent généralement être recyclés et réutilisés, ou retournés au fabricant ou à l'usine de traitement concernée pour être recyclés et réutilisés. Cela représente non seulement la réutilisation des ressources, mais aussi la réduction de la pollution environnementale due aux émissions. C'est pourquoi les salles blanches sont généralement équipées de systèmes d'alimentation et de recyclage des produits chimiques. Les sections suivantes décrivent ces systèmes.

2. Système et équipement d'approvisionnement en produits chimiques

Le système d'approvisionnement en produits chimiques se compose généralement d'une source d'approvisionnement, d'une unité de mélange ou de dilution, d'une unité de distribution et de dispositifs de surveillance. La source d'approvisionnement, également appelée unité de réapprovisionnement, désigne généralement des fûts (réservoirs) ou des camions-citernes. Le choix de la source dépend de la quantité de produits chimiques nécessaire au processus de fabrication ; pour de petites quantités, on utilise souvent des fûts, tandis que pour des quantités plus importantes, on privilégie les réservoirs fixes ou les camions-citernes. Ces dernières années, les usines de fabrication de puces de circuits intégrés et d'écrans à cristaux liquides TFT-LCD ont utilisé une grande variété et de grandes quantités de produits chimiques. Malgré des différences dans les types et les quantités utilisés, leurs systèmes d'approvisionnement restent fondamentalement similaires. Le schéma ci-dessous illustre le système d'approvisionnement de base dans ces types d'entreprises. Dans une salle blanche, ce système se compose généralement d'une armoire (ou d'un caisson) d'approvisionnement en produits chimiques, d'un réseau de canalisations et d'un système de surveillance. L'armoire contient généralement des réservoirs de stockage journalier, des vannes et des tuyauteries. Le réseau de distribution est principalement constitué de canalisations et de boîtes de distribution. Actuellement, avec le développement rapide de l'industrie de fabrication de microélectronique dans mon pays, de nombreux types de systèmes chimiques ont été construits et mis en service dans des salles blanches pour la fabrication de plaquettes de circuits intégrés et d'écrans plats, répondant aux exigences de diverses entreprises en matière de qualité et de quantité de produits chimiques utilisés dans leurs processus de fabrication.

Le boîtier collecteur de vannes (BCV) du système d'alimentation chimique est un ensemble de vannes permettant d'alimenter simultanément deux ou plusieurs unités de production. Selon la configuration du réseau d'alimentation chimique d'une usine de production électronique, des boîtes de vannes de dérivation peuvent être installées pour alimenter plusieurs boîtiers collecteurs. Le boîtier collecteur de vannes a pour but d'assurer un fonctionnement stable et sûr, de protéger le personnel et les installations, et de répondre aux besoins de chaque équipement de production en termes de type et de quantité de produits chimiques, tout en évitant les fuites de liquides chimiques pendant le transport. Le nombre de canalisations de dérivation du boîtier collecteur doit donc être déterminé en fonction des exigences du processus de fabrication, et des joints de dilatation doivent être prévus. Chaque canalisation de dérivation doit être équipée d'une vanne d'arrêt (manuelle ou automatique) et d'une vanne de purge. Une vanne de purge pour les fuites ou la maintenance doit être installée au bas du boîtier collecteur. Ce dernier doit comporter un orifice de ventilation relié au dispositif de traitement des gaz d'échappement. Étant donné que la porte du boîtier collecteur de vannes doit être ouverte fréquemment pour les opérations de fonctionnement et d'entretien, un loquet à ressort facile à ouvrir doit y être installé. Pour des raisons de sécurité et compte tenu de la nécessité d'une purge à l'azote, le boîtier collecteur de vannes doit pouvoir résister à une pression de 0,01 MPa.

Suzhou Pharma Machinery Co., Ltd.

2026/03/11

Gino