مقدمة عن نظام إمداد المواد الكيميائية في غرف الأبحاث النظيفة

1. نظرة عامة

في غرف التنظيف الخاصة بصناعة الإلكترونيات، تشمل الأنظمة الكيميائية بشكل أساسي المواد الكيميائية الحمضية والقاعدية، والمذيبات، ومواد التلميع. أما في غرف التنظيف الخاصة بصناعة الأدوية، فتشمل المواد الكيميائية الشائعة الاستخدام الأحماض والقواعد والمذيبات والمواد الكيميائية المستخدمة كمواد خام. وتُعد مصانع تصنيع رقائق الدوائر المتكاملة وشاشات العرض المسطحة من أكثر مصانع الإلكترونيات استخدامًا للمواد الكيميائية. في الأجيال السابقة من المصانع، ونظرًا لقلة كميات المواد الكيميائية المستخدمة، اعتمدت معظم المصانع على النقل اليدوي لنقل المواد الكيميائية مباشرةً إلى معدات الإنتاج وسكبها في خزانات المواد الكيميائية؛ إلا أن مصانع تصنيع الرقائق أو الشاشات اليوم تستخدم مجموعة أكبر من المواد الكيميائية وبكميات أوسع، لذا فهي تمتلك في الغالب غرف تخزين وتوزيع مركزية تُزود معدات عملية الإنتاج بالمواد الكيميائية اللازمة عبر خطوط الأنابيب (بما في ذلك صناديق الصمامات، وما إلى ذلك). تُستخدم هذه المواد الكيميائية في عمليات تصنيع المنتجات المختلفة، مثل الحفر، والطباعة الضوئية، والتطعيم، وتنظيف الرقائق أو شاشات العرض المسطحة. بعد الاستخدام، عادةً ما تحتاج المواد الكيميائية إلى إعادة تدويرها وإعادة استخدامها، أو إعادتها إلى الشركة المصنعة أو مصنع المعالجة ذي الصلة لإعادة تدويرها وإعادة استخدامها. لا يقتصر هذا على إعادة استخدام الموارد فحسب، بل يساهم أيضاً في الحد من التلوث البيئي الناتج عن الانبعاثات. ولذلك، عادةً ما تحتوي غرف العمليات النظيفة على أنظمة لتزويد المواد الكيميائية وأنظمة لإعادة تدويرها. وتصف الأقسام التالية نظام تزويد المواد الكيميائية ونظام إعادة تدويرها.

2. نظام ومعدات إمداد المواد الكيميائية

يتألف نظام إمداد المواد الكيميائية عادةً من مصدر إمداد، ووحدة خلط أو تخفيف، ووحدة إمداد، وأجهزة مراقبة. ويُعرف مصدر إمداد المواد الكيميائية أيضًا بوحدة إعادة التعبئة، ويشير عادةً إلى براميل (خزانات) المواد الكيميائية أو شاحنات نقل المواد الكيميائية. ويعتمد اختيار مصدر الإمداد على كمية المواد الكيميائية المطلوبة لعملية تصنيع المنتج؛ فبالنسبة للكميات الصغيرة، تُستخدم البراميل غالبًا، بينما تُستخدم الخزانات الثابتة أو شاحنات النقل عادةً للكميات الكبيرة. في السنوات الأخيرة، استخدمت مصانع تصنيع رقائق الدوائر المتكاملة ومصانع تصنيع شاشات الكريستال السائل TFT-LCD مجموعةً واسعةً وكمياتٍ كبيرةً من المواد الكيميائية. وعلى الرغم من وجود اختلافات في أنواع وكميات المواد الكيميائية المستخدمة، إلا أن أنظمة إمدادها متشابهةٌ جوهريًا. يوضح الرسم التخطيطي التالي نظام إمداد المواد الكيميائية الأساسي في هذه الأنواع من المؤسسات. يتألف نظام إمداد المواد الكيميائية في غرفة نظيفة عادةً من خزانة (أو صندوق) إمداد المواد الكيميائية، ونظام أنابيب توصيل المواد الكيميائية، ونظام مراقبة المواد الكيميائية. تحتوي خزانة إمداد المواد الكيميائية عادةً على خزانات تخزين يومية وصمامات وأنابيب. ويتكون نظام توصيل المواد الكيميائية بشكل أساسي من أنابيب وصناديق صمامات توزيع. حالياً، ومع التطور السريع لصناعة تصنيع الإلكترونيات الدقيقة في بلدي، تم بناء العديد من أنواع الأنظمة الكيميائية وتشغيلها في غرف نظيفة لتصنيع رقائق الدوائر المتكاملة وتصنيع أجهزة العرض المسطحة، مما يلبي متطلبات مختلف الشركات فيما يتعلق بجودة وكمية المواد الكيميائية المستخدمة في عمليات تصنيع منتجاتها.

صندوق مشعب الصمامات (VMB) في نظام إمداد المواد الكيميائية هو صندوق تشغيل صمامات يسمح لخط أنابيب إمداد المواد الكيميائية بتغذية وحدتين أو أكثر من معدات الإنتاج في آن واحد. وبناءً على متطلبات تصميم خطوط أنابيب إمداد المواد الكيميائية في مصنع إنتاج الصناعات الإلكترونية، يمكن أيضًا تركيب صناديق صمامات فرعية في نظام الإمداد لتزويد صندوقي مشعب صمامات أو أكثر بالمواد الكيميائية. يهدف صندوق مشعب الصمامات إلى ضمان التشغيل المستقر والآمن، وحماية الأفراد والمنشآت ذات الصلة من أي ضرر، وتلبية متطلبات نقاط استخدام المواد الكيميائية لكل معدات الإنتاج من حيث النوع والكمية، مع ضمان عدم تسرب السوائل الكيميائية أثناء النقل. لذلك، يجب تحديد عدد الأنابيب الفرعية في صندوق مشعب الصمامات وفقًا لمتطلبات عملية تصنيع المنتج، مع مراعاة وجود وصلات تمدد. يجب أن يكون كل أنبوب فرعي مزودًا بصمام إغلاق (يدوي أو أوتوماتيكي) وصمام تصريف. يجب تركيب صمام تصريف للتسرب أو الصيانة في أسفل صندوق مشعب الصمامات. يجب أن يحتوي صندوق مشعب الصمامات على منفذ تهوية متصل بجهاز معالجة العادم المناسب. نظراً لضرورة فتح باب صندوق مشعب الصمامات بشكل متكرر لأغراض التشغيل والصيانة، ينبغي تركيب مزلاج زنبركي سهل الفتح على الباب. ونظراً لاعتبارات السلامة وضرورة التطهير بالنيتروجين، يجب أن يكون صندوق مشعب الصمامات قادراً على تحمل ضغط يصل إلى 0.01 ميجا باسكال.

شركة سوتشو فارما للآلات المحدودة

2026/03/11

جينو