Introdução ao Sistema de Abastecimento de Produtos Químicos para Salas Limpas

1. Visão geral

Em salas limpas para a indústria eletrônica, os sistemas químicos incluem principalmente produtos químicos ácidos e básicos, solventes e produtos químicos para polimento. Em salas limpas para a indústria farmacêutica, os produtos químicos comumente usados ​​incluem ácidos e bases, solventes e produtos químicos utilizados como matérias-primas. As salas limpas da indústria eletrônica que mais utilizam produtos químicos são principalmente as fábricas de wafers de circuitos integrados e as fábricas de displays de tela plana. Nas gerações anteriores de fábricas, devido às menores quantidades de produtos químicos utilizados, a maioria das fábricas utilizava o manuseio manual para transportar os produtos químicos diretamente para os equipamentos de produção e despejá-los nos tanques químicos; no entanto, as fábricas de wafers ou painéis atuais utilizam uma variedade e quantidade maior de produtos químicos, portanto, geralmente possuem salas de armazenamento e distribuição centralizadas que fornecem os produtos químicos necessários aos equipamentos do processo de produção por meio de tubulações (incluindo caixas de válvulas, etc.). Esses produtos químicos são utilizados em vários processos para a fabricação do produto, como corrosão, fotolitografia, dopagem e limpeza de wafers ou displays de tela plana. Após o uso, os produtos químicos geralmente precisam ser reciclados e reutilizados ou devolvidos ao fabricante ou à planta de processamento relevante para reciclagem e reutilização. Isso não só representa a reutilização de "recursos", como também reduz a poluição ambiental causada por emissões. Portanto, as salas limpas geralmente possuem sistemas de fornecimento e reciclagem de produtos químicos. As seções a seguir descrevem o sistema de fornecimento e o sistema de reciclagem de produtos químicos.

2. Sistema e Equipamentos de Abastecimento de Produtos Químicos

O sistema de suprimento de produtos químicos normalmente consiste em uma fonte de suprimento, uma unidade de mistura ou diluição, uma unidade de abastecimento e dispositivos de monitoramento. A fonte de suprimento de produtos químicos, também conhecida como unidade de reabastecimento de produtos químicos, geralmente se refere a tambores (tanques) ou caminhões-tanque. A escolha da fonte de suprimento depende da quantidade de produtos químicos necessária para o processo de fabricação do produto; para pequenas quantidades, embalagens em tambores são frequentemente utilizadas, enquanto para quantidades maiores, tanques fixos ou caminhões-tanque são comumente usados. Nos últimos anos, fábricas de chips de circuitos integrados e fábricas de dispositivos de tela de cristal líquido TFT-LCD têm utilizado uma grande variedade e quantidade de produtos químicos. Embora existam diferenças nos tipos e quantidades de produtos químicos utilizados, seus sistemas de suprimento de produtos químicos são fundamentalmente semelhantes. O diagrama a seguir mostra o sistema básico de suprimento de produtos químicos nesses tipos de empresas. O sistema de suprimento de produtos químicos em uma sala limpa normalmente consiste em um armário (ou caixa) de suprimentos químicos, um sistema de tubulação para distribuição de produtos químicos e um sistema de monitoramento de produtos químicos. O armário de suprimentos químicos geralmente contém tanques de armazenamento diário, válvulas e tubulações. O sistema de distribuição de produtos químicos consiste principalmente em tubulações e caixas de válvulas de distribuição. Atualmente, com o rápido desenvolvimento da indústria de fabricação de microeletrônica do meu país, muitos tipos de sistemas químicos foram construídos e colocados em operação em salas limpas para a fabricação de wafers de circuitos integrados e dispositivos de tela plana, atendendo aos requisitos de diversas empresas quanto à qualidade e quantidade de produtos químicos utilizados em seus processos de fabricação.

A caixa de distribuição de válvulas (VMB, na sigla em inglês) em um sistema de suprimento de produtos químicos é uma caixa de operação de válvulas que permite que a tubulação de suprimento de produtos químicos alimente simultaneamente duas ou mais unidades de equipamentos de produção. Dependendo dos requisitos de layout das tubulações de suprimento de produtos químicos em uma fábrica da indústria eletrônica, caixas de distribuição de válvulas também podem ser instaladas no sistema de suprimento para fornecer produtos químicos a duas ou mais caixas de distribuição de válvulas. O objetivo da caixa de distribuição de válvulas é garantir uma operação estável e segura, proteger o pessoal e as instalações relacionadas contra danos e atender aos requisitos de cada ponto de uso de produtos químicos do equipamento de produção em termos de tipo e quantidade, garantindo que os líquidos químicos não vazem durante o transporte. Portanto, o número de tubulações de derivação na caixa de distribuição de válvulas deve ser determinado de acordo com os requisitos do processo de fabricação do produto, e juntas de expansão devem ser previstas. Cada tubulação de derivação deve ser equipada com uma válvula de bloqueio (manual ou automática) e uma válvula de drenagem. Uma válvula de drenagem para vazamentos ou manutenção deve ser instalada na parte inferior da caixa de distribuição de válvulas. A caixa de distribuição de válvulas deve ter uma porta de ventilação conectada ao dispositivo de tratamento de gases de escape correspondente. Como a porta da caixa do coletor de válvulas precisa ser aberta frequentemente para operação e manutenção, uma trava de mola de fácil abertura deve ser instalada na porta. Considerando a segurança e a necessidade de purga com nitrogênio, a caixa do coletor de válvulas deve ser capaz de suportar uma pressão de 0,01 MPa.

Suzhou Pharma Machinery Co., Ltd.

2026/03/11

Gino