Internationaler Reinraumstandard ISO 14644

Die Norm ISO 14644 bildet die Grundlage für die Planung, den Betrieb und das Management von Reinraumanlagen. Als besonders kontrollierter Bereich beruhen die zentralen Kontrollprinzipien eines Reinraums auf der Kontrolle der zugeführten gefilterten Luft, der Luftstromführung, der Druckdifferenzen sowie der Materialien und des Personals.

1. Reinheitsklassifizierung

ISO 14644 klassifiziert Reinheitsgrade anhand der Konzentration von Feinstaub in der Luft. In kritischen Bereichen ist eine Echtzeitüberwachung der Partikelkonzentration erforderlich, wobei bei Überschreitung der Grenzwerte automatisch ein Alarm ausgelöst wird.

2. Kernanforderungen an Planung und Bau:

Luftdichtheit: Alle Spalten ≤ 0,5 mm, mit Spezialdichtstoff abgedichtet.

Materialauswahl: Wand-/Decken-Wellstahlblechdicke ≥ 50 mm, Boden-Epoxidharzdicke ≥ 3 mm.

Druckdifferenzkontrolle: Druckdifferenz zwischen sauberen und nicht sauberen Bereichen ≥ 10 Pa, Druckdifferenz zwischen Bereichen mit unterschiedlichen Reinheitsgraden ≥ 5 Pa.

Luftstromorganisation: Unidirektionale Luftströmung im Reinraum, Luftgeschwindigkeit 0,36-0,54 m/s, nicht-unidirektionale Luftströmung, Luftwechselrate ≥ 15 Mal/Stunde.

3. Ausrüstungsanforderungen:

Filtrationssystem: HEPA-Filtereffizienz ≥99,99% bei 0,3 μm, ULPA-Filtereffizienz ≥ 99,9995% bei 0,12 μm.

Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle: Temperatur 22±1℃, Luftfeuchtigkeit 45±5%RH.

Schwingungsdämpfung: Schwingungsgeschwindigkeit in Präzisionsanlagen ≤ 0,5 mm/s.

4. Wichtigste Test- und Überwachungsmethoden

Prüfung der Partikelkonzentration: Die Messung erfolgt an festgelegten Probenahmepunkten mit einem Staubpartikelzähler. Dies ist die wichtigste Methode zur Überprüfung des Reinheitsgrades.

Luftstromprüfung: Umfasst Windgeschwindigkeits- und Luftvolumenmessungen, um eine ausreichende Luftaustauschkapazität sicherzustellen.

Differenzdruckprüfung: Misst die statische Druckdifferenz zwischen dem Reinraum und angrenzenden Bereichen, um die korrekte Luftstromrichtung sicherzustellen.

Dichtigkeitsprüfung der Filter: Durchsucht HEPA/ULPA-Filter und deren Rahmen, um sicherzustellen, dass keine Lecks vorhanden sind.

Prüfung des Luftströmungsmusters: Visualisiert oder misst die Richtung und Gleichmäßigkeit des Luftstroms, um die Effizienz der Schadstoffentfernung zu beurteilen.

Temperatur- und Feuchtigkeitsprüfung: Überwacht und protokolliert die Umgebungstemperatur und die relative Luftfeuchtigkeit, um die Einhaltung der Prozessanforderungen sicherzustellen.

Selbstreinigungszeitprüfung: Bewertet die Zeit, die der Reinraum benötigt, um sich von einem kontaminierten Zustand auf ein bestimmtes Reinheitsniveau zu erholen.

5. Grundlegende Betriebs- und Wartungsanforderungen

Personalstandards: Alle Mitarbeiter müssen eine strenge Schulung absolvieren und die Vorschriften für Reinraumkleidung (Reinraumanzüge, Handschuhe, Masken usw.) sowie die Verhaltensrichtlinien einhalten.

Reinigungsverfahren: Erstellen Sie regelmäßige Reinigungspläne und verwenden Sie spezielle Werkzeuge und Reinigungsmittel zur Reinigung von Oberflächen und Geräten.

Materialzugang: Alle Materialien, die in den Reinraum gelangen, müssen gereinigt und per Schleuse transportiert werden.

Vorbeugende Wartung: Führen Sie regelmäßige vorbeugende Wartungsarbeiten und den Austausch der Klimaanlage und des Luftreinigungssystems durch .

Kontinuierliche Überwachung: Echtzeit- oder häufige Überwachung wichtiger Parameter (Partikelanzahl, Differenzdruck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit) mit festgelegten Alarmgrenzen.

Dokumente und Aufzeichnungen: Bewahren Sie alle Testberichte, Überwachungsdaten, Wartungsaufzeichnungen und Abweichungsberichte auf, um die fortlaufende Einhaltung der Vorschriften nachzuweisen.