Luftfilterlösung für elektronische Halbleiterwerkstätten

Luftfilterlösung für elektronische Halbleiterwerkstätten Das Ziel des Luftreinigungsprojekts für Halbleiterwerkstätten besteht darin, eine saubere und staubfreie Arbeitsumgebung zu schaffen, um Partikel, schädliche Luft, Bakterien usw. zu verhindern. In der Luft. Halbzeuge und Fertigprodukte in der Halbleiterfertigung verursachen Umweltverschmutzung. Die traditionelle Belüftungsform besteht darin, dass die gesamte Decke der Werkstatt mit hocheffizienten Filtern bedeckt ist und der gesamte Boden ein Rückluftgitter ist. Heutzutage verwendet die AstroFan FFU-Lüfterfiltereinheit ein Filtergerät mit eigenem Lüfter, was die komplizierte Installation und die kostengünstigen Probleme löst. Es ist derzeit eines der leisesten und preisgünstigsten Geräte auf dem Markt und liefert hochwertige Umluft Reinraum S. Führende Wafer-Pharma-Maschinen, Partikelfiltration und kontrollierte AMC sind ein Muss. Partikelfiltration und AMC-Kontrolle sind die Hauptanliegen der Halbleiterindustrie mit hoher Ausbeute und geringer Rendite. Wenn Partikel oder AMC in einem Reinraum oder einer Anlage nicht ordnungsgemäß kontrolliert werden, verringert sich der Betriebsgewinn eines Unternehmens erheblich. Das Hauptanliegen in Reinräumen ist die Kontamination von Produkten, Werkzeugen, Prozessen und die Geruchskontrolle. Die Luftreinigung in Halbleiterwerkstätten besteht normalerweise aus: Filter mit primärem Wirkungsgrad/Filter mit mittlerem Wirkungsgrad/Filter mit hohem Wirkungsgrad, Zuluft-Klimaanlage, Rückluft- und Abgassystem, Strom- und Beleuchtungssystem, Überwachung und Alarmierung von Arbeitsumgebungsparametern sowie Brandbekämpfung , Kommunikationssystem. , Personenfluss- und Logistiksystem, Prozesspipelinesystem und andere Teile. Die traditionelle Form der Belüftung besteht darin, dass die gesamte Decke der Werkstatt mit hocheffizienten Filtern bedeckt ist und der gesamte Boden ein Rückluftgitter ist. Heutzutage verwendet die AstroFan FFU-Lüfterfiltereinheit ein Filtergerät mit eigenem Lüfter, was die komplizierte Installation und die kostengünstigen Probleme löst. Es ist derzeit eines der leisesten und preisgünstigsten Geräte auf dem Markt und liefert hochwertige Umluft für Reinräume. Verwendung: Der Luftreinigungsprozess der Halbleiterwerkstatt wird häufig bei der Luftreinigung von Produktionswerkstätten für Siliziumelektronik, Radios, Fernseher, Computer, Haushaltsgeräte und andere Branchen eingesetzt. Verbessern Sie die Prozessausbeute mit Komplettlösungen für die fortschrittliche Halbleiterfertigung. In Halbleiterproduktionsanlagen kann Mikrokontamination große Probleme verursachen. sz-pharma bietet eine breite Palette an Lösungen – Partikelvorfilter, HEPA- und ULPA-Filter sowie AMC-Kontrolllösungen –, die Partikel- und Molekularkonzentrationen in Reinräumen auf einen Feinstaubgehalt von lSO1 und einen AMC-Wert im Sub-ppb-Bereich reduzieren können. AMC-Filter und -Steuerungen sind wichtiger als Pharma-Reinraumfiltration. Molekulare Kontamination in der Luft (AMC) stellt besondere Herausforderungen für die Halbleiterfertigung im kleinen Maßstab dar. Unerwünschte chemische Reaktionen von Säuren, Basen, organischen Stoffen, feuerfesten Materialien und Dotierstoffen können sich auf Waferoberflächen und die Optik von Prozessanlagen auswirken, zu Defekten bei der Chipproduktion führen und die Effizienz von Anlagen und Werkzeugen verringern. AMC wird in kritischen Reinraumfertigungsprozessen immer wichtiger. Da die Spezifikationsanforderungen steigen und die Anlagengröße schrumpft, steht die Prozesskontrolle unter enormem Druck. Wafer können einen Monat lang in einer Fabrik bleiben und Hunderte von Prozessen durchlaufen, bevor sie das Endprodukt liefern. Jeder kleine Einfluss von Verunreinigungen in dieser Prozesskette kann schwerwiegende Auswirkungen auf die Gesamtausbeute der Fabrik haben. Eine weitere Herausforderung ist die Verallgemeinerung größerer Wafergrößen, was die Kosten pro Wafer erhöht und den Bedarf an Nanopartikel- und AMC-Schutz auf Werkzeugebene erhöht. Darüber hinaus setzen die steigenden Kosten für fehlerfreie Masken, die in der EUV- und Multi-Pattern-DUV-Lithographie verwendet werden, Einrichtungen sowie Systeme zur Kontrolle der Umweltverschmutzung in kleinen Umgebungen wie Inspektionsgeräten und Maskenlagern unter Druck. Schützen Sie Ihre Prozessausrüstung und Wafer vor Nanopartikeln und molekularen Verunreinigungen in der Luft. Die Lösungen von sz-pharma bieten bewährten Schutz für Feld- und Pharmamaschinen in Halbleiterfertigungsumgebungen, einschließlich Lithographie, Ätzen, Diffusion, Metallisierung, Dünnfilmen, Ionenimplantation, Inspektionswerkzeugen und Retikel- oder Wafer-Lagerbereichen . Prozesswerkzeuge, Luftfilter, Luftfilter, Scanner, Vorfiltersysteme, energieeffiziente Abluftlösungen von Facility Systems. Die Partikelvorfilterreihe sorgt für den niedrigsten Energieverbrauch in Zusatzlüftungsgeräten und verhindert gleichzeitig, dass HEPA-Filter verstopfen und nicht Bor freisetzen. Nach jahrelanger Entwicklung der chemischen Eigenschaften von Klebstoffen und Medien sind die HEPA- und ULPA-Filter von sz-pharma darauf ausgelegt, möglichst wenig organische Verunreinigungen freizusetzen (sog. Low Outgassing). Abgassysteme für das Wafer-Dicing und Gaswäscher für allgemeine Abgas-Backup-Systeme schützen die Umgebung vor Prozessverunreinigungen. Borfreie synthetische Vorfilter Niedrigenergie-Vorfilter HEPA- und ULPA-Filter mit geringer Ausgasung Staubsammler und Gaswäscher für sauberere Abgase Ziel ist es, eine saubere und staubfreie Arbeitsumgebung zu schaffen, um Partikel, schädliche Luft, Bakterien usw. zu verhindern. In der Luft. Halbzeuge und Fertigprodukte in der Halbleiterfertigung verursachen Umweltverschmutzung. Die traditionelle Form der Belüftung besteht darin, die gesamte Decke des pharmazeutischen Reinraums mit hocheffizienten Filtern abzudecken. Der gesamte Boden ist ein Rückluftgitter. Heutzutage verwendet die AstroFan FFU-Lüfterfiltereinheit ein Filtergerät mit eigenem Lüfter, was die komplizierte Installation und die kostengünstigen Probleme löst. Es ist derzeit eines der leisesten und preisgünstigsten Geräte auf dem Markt und liefert hochwertige Umluft für Reinräume. Die Nachrichten zu diesem Artikel stammen aus dem Internet und das Urheberrecht liegt beim ursprünglichen Autor. 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