Solução de filtro de ar para oficina de semicondutores eletrônicos

Solução de filtro de ar para oficina de semicondutores eletrônicos O objetivo do projeto de purificação de ar para oficina de semicondutores é estabelecer um ambiente de trabalho limpo e livre de poeira para evitar partículas, ar prejudicial, bactérias, etc. No ar. Produtos semiacabados e produtos acabados na linha de produção de semicondutores causam poluição. A forma tradicional de ventilação é que todo o teto da oficina seja coberto com filtros de alta eficiência e todo o piso seja uma grade de retorno de ar. Hoje, a unidade de filtro de ventilador AstroFan FFU usa um dispositivo de filtro com seu próprio ventilador, que resolve problemas de instalação complicados e econômicos. Atualmente é uma das unidades mais silenciosas e com melhor preço do mercado, fornecendo ar circulante de alta qualidade para sala limpa s. Máquinas farmacêuticas líderes em wafer, filtragem de partículas e AMC controlado são essenciais. A filtragem de partículas e o controle AMC são as principais preocupações da indústria de semicondutores de alto rendimento e baixa taxa de retorno. A falha no controle adequado de partículas ou AMC em uma sala ou instalação limpa reduzirá enormemente o lucro operacional de uma empresa. A principal preocupação em salas limpas é a contaminação de produtos, ferramentas, processos e controle de odores. A purificação do ar em oficinas de semicondutores geralmente consiste em: filtro de eficiência primária/filtro de eficiência intermediária/filtro de alta eficiência, fornecimento de ar de ar condicionado, sistema de retorno e exaustão, sistema de energia e iluminação, monitoramento e alarme de parâmetros do ambiente de trabalho e combate a incêndio. , sistema de comunicação. , sistema de fluxo de pessoas e logística, sistema de pipeline de processo e outras peças. A forma tradicional de ventilação é que todo o teto da oficina seja coberto com filtros de alta eficiência e todo o piso seja uma grade de retorno de ar. Hoje, a unidade de filtro de ventilador AstroFan FFU usa um dispositivo de filtro com seu próprio ventilador, que resolve problemas de instalação complicados e econômicos. Atualmente é uma das unidades mais silenciosas e com melhor preço do mercado, proporcionando circulação de ar de alta qualidade para salas limpas. Usos: O processo de purificação do ar em oficinas de semicondutores é amplamente utilizado na purificação do ar em oficinas de produção de eletrônicos de silício, rádios, televisões, computadores, eletrodomésticos e outras indústrias. Melhore o rendimento do processo com soluções completas para fabricação avançada de semicondutores. Nas fábricas de produção de semicondutores, a microcontaminação pode causar enormes problemas. A sz-pharma oferece uma ampla gama de soluções - pré-filtros de partículas, filtros HEPA e ULPA e soluções de controle AMC - que podem reduzir as concentrações de partículas e moleculares em salas limpas para o nível lSO1 de material particulado e nível sub-ppb de AMC. Os filtros e controles AMC são mais importantes do que a filtragem de salas limpas farmacêuticas. A contaminação molecular transportada pelo ar (AMC) apresenta desafios específicos para a fabricação de semicondutores em pequena escala. Reações químicas indesejáveis ​​de ácidos, bases, orgânicos, refratários e dopantes podem afetar as superfícies dos wafers e a óptica dos equipamentos de processo, criando defeitos durante a produção de chips e reduzindo a eficiência de equipamentos e ferramentas. AMC é cada vez mais importante em processos críticos de fabricação em salas limpas. À medida que os requisitos de especificação aumentam e o tamanho do equipamento diminui, o controle do processo fica sob enorme pressão. Os wafers podem permanecer na fábrica por um mês, passando por centenas de processos antes de entregar o produto final. Qualquer pequeno impacto de contaminação nesta cadeia de processo pode ter um sério impacto no rendimento geral da fábrica. Outro desafio é a generalização de tamanhos maiores de wafer, o que aumenta o custo por wafer e aumenta a necessidade de proteção de nanopartículas e AMC no nível da ferramenta. Além disso, o custo crescente das máscaras isentas de defeitos utilizadas na litografia EUV e DUV multipadrão está a pressionar as instalações, bem como os sistemas de controlo de poluição em pequenos ambientes, tais como equipamentos de inspeção e armazenistas de máscaras. Proteja seus equipamentos de processo e wafers contra nanopartículas e contaminantes moleculares transportados pelo ar As soluções sz-pharma fornecem proteção comprovada para máquinas de campo e farmacêuticas em ambientes de fabricação de semicondutores, incluindo litografia, gravação, difusão, metalização, filmes finos, implantação de íons, ferramentas de inspeção e áreas de armazenamento de retículos ou wafers . Ferramentas de processo, filtros de ar, filtros de ar, scanners, sistemas de pré-filtro, soluções de exaustão com eficiência energética de sistemas de instalações A linha de pré-filtros de partículas garante o menor uso de energia em unidades de tratamento de ar de reposição, evitando o entupimento dos filtros HEPA e não liberar boro. Depois de anos desenvolvendo as propriedades químicas de adesivos e meios, os filtros HEPA e ULPA da sz-pharma são projetados para liberar o mínimo possível de contaminantes orgânicos (a chamada baixa emissão de gases). Os sistemas de exaustão para corte de wafer e purificadores de gás para sistemas gerais de backup de exaustão protegem o meio ambiente contra a contaminação do processo. Pré-filtros sintéticos livres de boro Pré-filtros de baixa energia Filtros HEPA e ULPA de baixa emissão de gases Coletores de poeira e purificadores de gás para gases de exaustão mais limpos É estabelecer um ambiente de trabalho limpo e livre de poeira para evitar partículas, ar prejudicial, bactérias, etc. No ar. Produtos semiacabados e produtos acabados na linha de produção de semicondutores causam poluição. A forma tradicional de ventilação é cobrir todo o teto da sala limpa farmacêutica com filtros de alta eficiência. Todo o terreno é uma grade de retorno de ar. Hoje, a unidade de filtro de ventilador AstroFan FFU usa um dispositivo de filtro com seu próprio ventilador, que resolve problemas de instalação complicados e econômicos. Atualmente é uma das unidades mais silenciosas e com melhor preço do mercado, proporcionando circulação de ar de alta qualidade para salas limpas. A notícia deste artigo vem da Internet e os direitos autorais pertencem ao autor original. O conteúdo representa apenas o ponto de vista do autor e não representa a posição da nossa empresa. Se você tiver alguma dúvida ou necessidade, entre em contato para excluir

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