Solución de filtro de aire para taller de semiconductores electrónicos

Solución de filtro de aire para taller de semiconductores electrónicos El objetivo del proyecto de purificación de aire para taller de semiconductores es establecer un entorno de trabajo limpio y libre de polvo para evitar partículas, aire nocivo, bacterias, etc. En el aire. Los productos semiacabados y terminados en la línea de producción de semiconductores causan contaminación. La forma de ventilación tradicional es que todo el techo del taller está cubierto con filtros de alta eficiencia y todo el piso es una rejilla de retorno de aire. Hoy en día, la unidad de filtrado por ventilador AstroFan FFU utiliza un dispositivo de filtrado con su propio ventilador, lo que resuelve los complicados problemas de instalación y rentabilidad. Actualmente es una de las unidades más silenciosas y de mejor precio del mercado y ofrece aire circulante de alta calidad para cuarto limpio S La maquinaria farmacéutica de obleas líder, la filtración de partículas y el AMC controlado son imprescindibles. La filtración de partículas y el control de AMC son las principales preocupaciones de la industria de semiconductores de alto rendimiento y baja tasa de retorno. No controlar adecuadamente las partículas o AMC en una sala o instalación limpia reducirá en gran medida las ganancias operativas de una empresa. La principal preocupación en las salas blancas es la contaminación de productos, herramientas, procesos y control de olores. La purificación del aire en los talleres de semiconductores generalmente consta de: filtro de eficiencia primaria/filtro de eficiencia intermedia/filtro de alta eficiencia, aire de suministro de aire acondicionado, sistema de aire de retorno y escape, sistema de energía e iluminación, monitoreo y alarma de los parámetros del entorno de trabajo y extinción de incendios. , sistema de comunicación. , sistema de flujo de personas y logística, sistema de tuberías de procesos y otras partes. La forma tradicional de ventilación es que todo el techo del taller está cubierto con filtros de alta eficiencia, y todo el suelo es una rejilla de retorno de aire. Hoy en día, la unidad de filtrado por ventilador AstroFan FFU utiliza un dispositivo de filtrado con su propio ventilador, lo que resuelve los complicados problemas de instalación y rentabilidad. Actualmente es una de las unidades más silenciosas y de mejor precio del mercado y ofrece aire circulante de alta calidad para salas blancas. Usos: El proceso de purificación de aire del taller de semiconductores se usa ampliamente en la purificación del aire de talleres de producción de electrónica de silicio, radios, televisores, computadoras, electrodomésticos y otras industrias. Mejore el rendimiento del proceso con soluciones completas para la fabricación avanzada de semiconductores. En las plantas de producción de semiconductores, la microcontaminación puede causar enormes problemas. sz-pharma ofrece una amplia gama de soluciones (prefiltros de partículas, filtros HEPA y ULPA y soluciones de control de AMC) que pueden reducir las concentraciones de partículas y moleculares en salas blancas a un nivel de ISO1 de materia particulada y un nivel de subppb de AMC. Los filtros y controles AMC son más importantes que la filtración de salas limpias farmacéuticas. La contaminación molecular transmitida por el aire (AMC) presenta desafíos particulares para la fabricación de semiconductores a pequeña escala. Las reacciones químicas indeseables de ácidos, bases, compuestos orgánicos, refractarios y dopantes pueden afectar las superficies de las obleas y la óptica de los equipos de proceso, creando defectos durante la producción de chips y reduciendo la eficiencia de los equipos y herramientas. AMC es cada vez más importante en los procesos críticos de fabricación de salas blancas. A medida que aumentan los requisitos de especificación y se reduce el tamaño de los equipos, el control de procesos se encuentra bajo una enorme presión. Las obleas pueden permanecer en una fábrica durante un mes, pasando por cientos de procesos antes de entregar el producto final. Cualquier pequeño impacto de contaminación en esta cadena de proceso puede tener un impacto grave en el rendimiento general de la fábrica. Otro desafío es la generalización de tamaños de oblea más grandes, lo que aumenta el costo por oblea y aumenta la necesidad de protección de nanopartículas y AMC a nivel de herramienta. Además, el costo creciente de las máscaras sin defectos utilizadas en la litografía EUV y DUV de múltiples patrones está ejerciendo presión sobre las instalaciones, así como sobre los sistemas de control de la contaminación en entornos pequeños, como los equipos de inspección y los almacenadores de máscaras. Proteja sus equipos de proceso y obleas de nanopartículas y contaminantes moleculares transportados por el aire. Las soluciones sz-pharma brindan protección comprobada a la maquinaria farmacéutica y de campo en entornos de fabricación de semiconductores, incluidos litografía, grabado, difusión, metalización, películas delgadas, implantación de iones, herramientas de inspección y áreas de almacenamiento de retículas o obleas. . Herramientas de proceso, filtros de aire, filtros de aire, escáneres, sistemas de prefiltro, soluciones de escape energéticamente eficientes de sistemas de instalaciones La gama de prefiltros de partículas garantiza el menor uso de energía en unidades de tratamiento de aire de reposición al tiempo que evita que los filtros HEPA se obstruyan y no liberar boro. Después de años de desarrollar las propiedades químicas de adhesivos y medios, los filtros HEPA y ULPA de sz-pharma están diseñados para liberar la menor cantidad posible de contaminantes orgánicos (lo que se denomina baja desgasificación). Los sistemas de escape para corte de obleas y depuradores de gases para sistemas generales de respaldo de escape protegen el medio ambiente de la contaminación del proceso. Prefiltros sintéticos sin boro Prefiltros de bajo consumo de energía Filtros HEPA y ULPA de baja desgasificación Colectores de polvo y depuradores de gases para gases de escape más limpios Es para establecer un entorno de trabajo limpio y libre de polvo para evitar partículas, aire nocivo, bacterias, etc. En el aire. Los productos semiacabados y terminados en la línea de producción de semiconductores causan contaminación. La forma tradicional de ventilación consiste en cubrir todo el techo de la sala blanca farmacéutica con filtros de alta eficiencia. Todo el suelo es una rejilla de retorno de aire. Hoy en día, la unidad de filtrado por ventilador AstroFan FFU utiliza un dispositivo de filtrado con su propio ventilador, lo que resuelve los complicados problemas de instalación y rentabilidad. Actualmente es una de las unidades más silenciosas y de mejor precio del mercado y ofrece aire circulante de alta calidad para salas blancas. 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