Solution de filtre à air pour atelier de semi-conducteurs électroniques

Solution de filtre à air pour atelier de semi-conducteurs électroniques L'objectif du projet de purification de l'air de l'atelier de semi-conducteurs est d'établir un environnement de travail propre et sans poussière pour éviter les particules, l'air nocif, les bactéries, etc. Dans l'air. Les produits semi-finis et les produits finis sur la chaîne de production de semi-conducteurs sont polluants. La forme de ventilation traditionnelle est que tout le plafond de l'atelier est recouvert de filtres à haute efficacité et que tout le sol est une grille de reprise d'air. Aujourd'hui, l'unité de filtrage de ventilateur AstroFan FFU utilise un dispositif de filtrage avec son propre ventilateur, ce qui résout les problèmes d'installation compliqués et de rentabilité. Il s'agit actuellement de l'une des unités les plus silencieuses et les moins chères du marché, offrant une circulation d'air de haute qualité pour salle blanche s. Des machines pharmaceutiques de pointe, une filtration des particules et une AMC contrôlée sont indispensables. La filtration des particules et le contrôle de l'AMC sont des préoccupations majeures pour l'industrie des semi-conducteurs à haut rendement et à faible taux de retour. Le fait de ne pas contrôler correctement les particules ou l'AMC dans une salle blanche ou une installation réduira considérablement le bénéfice d'exploitation d'une entreprise. La principale préoccupation des salles blanches est la contamination des produits, des outils, des processus et le contrôle des odeurs. La purification de l'air dans les ateliers de semi-conducteurs comprend généralement : un filtre à efficacité primaire/un filtre à efficacité intermédiaire/un filtre à haute efficacité, un système d'alimentation en air conditionné, un système de retour d'air et d'échappement, un système d'alimentation et d'éclairage, une surveillance et une alarme des paramètres de l'environnement de travail et une lutte contre les incendies. , système de communication. , système de flux de personnes et de logistique, système de pipeline de processus et autres pièces. La forme traditionnelle de ventilation consiste à recouvrir tout le plafond de l'atelier de filtres à haute efficacité et tout le sol à être une grille de reprise d'air. Aujourd'hui, l'unité de filtrage de ventilateur AstroFan FFU utilise un dispositif de filtrage avec son propre ventilateur, ce qui résout les problèmes d'installation compliqués et de rentabilité. Il s'agit actuellement de l'une des unités les plus silencieuses et les moins chères du marché, offrant une circulation d'air de haute qualité pour les salles blanches. Utilisations : Le processus de purification de l'air de l'atelier de semi-conducteurs est largement utilisé dans la purification de l'air des ateliers de production d'électronique au silicium, de radios, de téléviseurs, d'ordinateurs, d'appareils électroménagers et d'autres industries. Améliorez le rendement des processus avec des solutions complètes pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Dans les usines de production de semi-conducteurs, la microcontamination peut causer d’énormes problèmes. sz-pharma propose une large gamme de solutions - pré-filtres à particules, filtres HEPA et ULPA et solutions de contrôle AMC - qui peuvent réduire les concentrations de particules et de molécules dans les salles blanches à un niveau de particules lSO1 et un niveau inférieur au ppb d'AMC. Les filtres et les contrôles AMC sont plus importants que la filtration en salle blanche pharmaceutique. La contamination moléculaire aéroportée (AMC) présente des défis particuliers pour la fabrication de semi-conducteurs à petite échelle. Les réactions chimiques indésirables des acides, des bases, des matières organiques, des réfractaires et des dopants peuvent affecter les surfaces des plaquettes et l'optique des équipements de traitement, créant des défauts lors de la production des puces et réduisant l'efficacité des équipements et des outils. L’AMC joue un rôle de plus en plus important dans les processus de fabrication critiques en salle blanche. À mesure que les exigences des spécifications augmentent et que la taille des équipements diminue, le contrôle des processus est soumis à une pression énorme. Les plaquettes peuvent rester dans une usine de fabrication pendant un mois et subir des centaines de processus avant de livrer le produit final. Tout petit impact de contamination dans cette chaîne de processus peut avoir un impact sérieux sur le rendement global de l'usine. Un autre défi est la généralisation de tranches de plus grande taille, ce qui augmente le coût par tranche et accroît le besoin de protection contre les nanoparticules et l'AMC au niveau de l'outil. En outre, le coût croissant des masques sans défaut utilisés dans la lithographie EUV et DUV multi-motifs exerce une pression sur les installations ainsi que sur les systèmes de contrôle de la pollution dans les petits environnements, tels que les équipements d'inspection et les stockeurs de masques. Protégez vos équipements de traitement et vos plaquettes contre les nanoparticules et les contaminants moléculaires en suspension dans l'air. Les solutions sz-pharma fournissent une protection éprouvée des machines de terrain et pharmaceutiques dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs, notamment la lithographie, la gravure, la diffusion, la métallisation, les couches minces, l'implantation ionique, les outils d'inspection et les zones de stockage de réticules ou de plaquettes. . Outils de traitement, filtres à air, filtres à air, scanners, systèmes de pré-filtre, solutions d'échappement économes en énergie des systèmes d'installation. La gamme de pré-filtres à particules garantit la consommation d'énergie la plus faible dans les unités de traitement d'air d'appoint tout en empêchant les filtres HEPA de se boucher et ne libère du bore. Après des années de développement des propriétés chimiques des adhésifs et des médias, les filtres HEPA et ULPA de sz-pharma sont conçus pour libérer le moins de contaminants organiques possible (ce qu'on appelle un faible dégazage). Les systèmes d'échappement pour le découpage de tranches et les épurateurs de gaz pour les systèmes généraux de secours d'échappement protègent l'environnement de la contamination des processus. Préfiltres synthétiques sans bore Préfiltres à faible consommation d'énergie Filtres HEPA et ULPA à faible dégazage Collecteurs de poussière et épurateurs de gaz pour des gaz d'échappement plus propres Il s'agit d'établir un environnement de travail propre et sans poussière pour éviter les particules, l'air nocif, les bactéries, etc. Dans l'air. Les produits semi-finis et les produits finis sur la chaîne de production de semi-conducteurs sont polluants. La forme traditionnelle de ventilation consiste à recouvrir tout le plafond de la salle blanche pharmaceutique avec des filtres à haute efficacité. L'ensemble du sol est une grille de reprise d'air. Aujourd'hui, l'unité de filtrage de ventilateur AstroFan FFU utilise un dispositif de filtrage avec son propre ventilateur, ce qui résout les problèmes d'installation compliqués et de rentabilité. Il s'agit actuellement de l'une des unités les plus silencieuses et les moins chères du marché, offrant une circulation d'air de haute qualité pour les salles blanches. L'actualité de cet article provient d'Internet et le droit d'auteur appartient à l'auteur original. Le contenu représente uniquement le point de vue de l'auteur et ne représente pas la position de notre entreprise. Si vous avez des questions ou des besoins, veuillez contacter pour supprimer

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