Design- und Konstruktionsanforderungen einer staubfreien Werkstatt für integrierte Schaltkreise
Integrierter Schaltkreis Reinraum Design- und Konstruktionsanforderungen Der Reinraum für integrierte Schaltkreise ist ein Reinraum, der den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses gerecht wird. Der Reinraum stellt bestimmte Anforderungen an die Sauberkeit der Umgebung, Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Vibration, ESD und AMC-Kontrolle. Im Vergleich zu anderen industriellen Reinräumen zeichnet sich der staubfreie pharmazeutische Reinraum für die Herstellung integrierter Schaltkreise durch eine große Fläche, einen hohen Reinheitsgrad und eine hohe Genauigkeit der Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung aus. Entsprechend den Luftzirkulationseigenschaften der Reinraumwerkstatt kann der Reinraum in drei Typen unterteilt werden: Umwälzklimaanlage mit hocheffizientem Luftversorgungssystem, Umwälzventilator mit Nassdichtungssystem und FFU-Zirkulationssystem. Die erste Form wird häufig bei der Gestaltung von Reinraumwerkstätten mit kleinen und geringen Anforderungen verwendet. Bei großflächigen und hoch gelegenen Reinräumen ergeben sich Nachteile wie hohe Betriebskosten und übermäßiger Platzbedarf. Die erste Form des Designs kann die großen und hohen Anforderungen staubfreier Werkstätten zur Herstellung integrierter Schaltkreise erfüllen, aber die Betriebskosten sind hoch und es ist schwierig, die Luftgeschwindigkeit und das Luftvolumen im Reinraum anzupassen Es ist schwierig, das System zu aktualisieren, daher ist die Betriebsflexibilität sehr gering. Der dritte Typ des FFU-Umwälzsystems spart nicht nur Betriebsraum, bietet hohe Sauberkeit und Sicherheit sowie niedrige Betriebskosten, sondern verfügt auch über eine hohe Betriebsflexibilität, die jederzeit ohne Beeinträchtigung der Produktion aufgerüstet und angepasst werden kann. Um den Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht zu werden, hat sich das FFU-Zirkulationssystem nach und nach zum wichtigsten Reinigungskonzept in der Halbleiterfertigungsindustrie entwickelt. Die Merkmale des FFU-Zirkulationssystems sind: Der gesamte Reinraum besteht aus statischer Druckschicht, Prozessschicht, Prozesshilfsschicht und Rückluftkanal. In der Prozessschicht und der Prozesshilfsschicht herrscht in der statischen Druckschicht ein Unterdruck gegenüber der Prozessschicht. Darüber hinaus gibt es einen Produktionshilfsbereich für den Anlagenausrüstungsbereich zur Herstellung integrierter Schaltkreise, einschließlich Stromversorgung, Gas- und Chemikalienversorgung, Reinstwasserversorgung usw. Bei der Herstellung integrierter Schaltkreise gelten strengere Anforderungen an die Kontrolle der Reinraumumgebung. Unterschiedliche Prozesse stellen unterschiedliche Anforderungen an die Sauberkeit. Beispielsweise erfordert die Lithographie eine Mikroumgebung der Stufe 1, während für das chemisch-mechanische Polieren nur eine Umgebung der Stufe 1000 erforderlich ist. Darüber hinaus gelten in der Reinraumwerkstatt für die Herstellung integrierter Schaltkreise relevante Vorschriften und Anforderungen zu Lärm, Mikrovibrationen, Beleuchtungsstärke usw., insbesondere zur Vibrationskontrolle, die bei der architektonischen Gestaltung des Reinraums erforderlich sein müssen. Ein gutes, sauberes pharmazeutisches Reinraumdesign kann nicht nur Energie sparen, Betriebskosten senken und den Arbeitsaufwand reduzieren, sondern auch eine vollständige Garantie für die Produktion bieten. Unter den drei Reinigungssystemen weist das FFU-Umwälzsystem die höchsten Betriebskosten und sichere Sauberkeit auf. Daher verwendet der reine pharmazeutische Reinraum mit integriertem Schaltkreis größtenteils das FFU-Zirkulationssystem. Je höher die Sauberkeitsanforderungen und je höher die Genauigkeit der Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung, desto höher sind die Reinrauminvestitionen und die Betriebskosten. Daher sind bei relativ geringen Umweltreinheits- oder Temperatur- und Feuchtigkeitsanforderungen einige Schlüsselprozesse erforderlich Pharmamaschinen sollten in höheren Bereichen angeordnet werden. Sauberkeits- oder Temperatur- und Feuchtigkeitskontrollbereiche sind die Designtrends sauberer Werkstätten für die Herstellung integrierter Schaltkreise. Die Herstellung integrierter Schaltkreise ist eine Branche mit hohem Energieverbrauch, und der Energieverbrauch sauberer Klimaanlagen macht mehr als 30 % davon aus. Daher werden eine energiesparende und sichere Reinraumgestaltung sowie verschiedene Konzepte zur Wärmeenergierückgewinnung die künftige Entwicklungsrichtung sein. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Technologie zur Herstellung integrierter Schaltkreise sind Mainstream-Hersteller in das Nano-Zeitalter eingetreten, und auch das Design, die Konstruktion und die Energieeinsparungseffizienz sauberer Werkstätten zur Herstellung integrierter Schaltkreise müssen kontinuierlich verbessert werden, um die Produktion von High-End-Prozessen zu gewährleisten Produkte.
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