Requisitos de projeto e construção de oficina livre de poeira de circuito integrado

Circuito integrado sala limpa requisitos de projeto e construção A sala limpa de circuito integrado é uma sala limpa para atender às necessidades do processo de fabricação de semicondutores. A sala limpa tem certos requisitos de limpeza ambiental, temperatura e umidade, vibração, ESD e controle AMC. Em comparação com outras salas limpas industriais, a sala limpa farmacêutica livre de poeira para fabricação de circuitos integrados tem as características de grande área, alto nível de limpeza e alta precisão de controle de temperatura e umidade. De acordo com as características de circulação de ar da oficina de sala limpa, a sala limpa pode ser dividida em três tipos: ar condicionado circulante com sistema de fornecimento de ar de alta eficiência, ventilador circulante com sistema de vedação úmida e sistema de circulação FFU. A primeira forma é amplamente utilizada no projeto de oficinas de salas limpas com requisitos de pequena escala e baixo nível. Para salas limpas de grandes áreas e de alto nível, existem desvantagens como altos custos operacionais e ocupação excessiva de espaço. A primeira forma de projeto pode atender aos requisitos de grande escala e alto nível das oficinas livres de poeira de fabricação de circuitos integrados, mas o custo operacional é alto e é difícil ajustar a velocidade e o volume do ar na sala limpa, e é difícil atualizar o sistema, portanto a flexibilidade de operação é muito baixa. O terceiro tipo de sistema de circulação FFU não só economiza espaço operacional, possui alta limpeza e segurança e tem baixos custos operacionais, mas também possui alta flexibilidade operacional, que pode ser atualizada e ajustada a qualquer momento sem afetar a produção. Para atender às necessidades da fabricação de semicondutores, o sistema de circulação FFU tornou-se gradualmente o esquema de projeto de purificação mais importante na indústria de fabricação de semicondutores. As características do sistema de circulação FFU são: toda a sala limpa é composta por camada de pressão estática, camada de processo, camada auxiliar de processo e canal de ar de retorno. Na camada de processo e na camada auxiliar de processo, a camada de pressão estática é pressão negativa em relação à camada de processo. Além disso, há uma área auxiliar de produção para a área de equipamentos da planta de fabricação de circuitos integrados, incluindo fornecimento de energia, fornecimento de gás e produtos químicos, fornecimento de água ultrapura, etc. A fabricação de circuitos integrados possui requisitos mais rígidos no controle do ambiente de sala limpa. Diferentes processos têm diferentes requisitos de limpeza. Por exemplo, a litografia requer um microambiente de nível 1, enquanto o polimento químico-mecânico requer apenas um ambiente de nível 1000. Além disso, a oficina limpa de fabricação de circuitos integrados possui regulamentações e requisitos relevantes sobre ruído, microvibração, iluminância, etc., especialmente o controle de vibração, que deve ser exigido no projeto arquitetônico da sala limpa. Um bom projeto de sala limpa farmacêutica limpa pode não apenas economizar energia, reduzir custos operacionais e mão de obra, mas também fornecer uma garantia completa para a produção. Dentre os três sistemas de limpeza, o sistema de circulação FFU apresenta o maior custo operacional e limpeza segura. Portanto, a sala limpa farmacêutica limpa de circuito integrado adota principalmente o sistema de circulação FFU. Quanto maiores os requisitos de limpeza e maior a precisão do controle de temperatura e umidade, maiores serão os custos operacionais e de investimento em salas limpas. Portanto, no caso de requisitos relativamente baixos de limpeza ambiental ou de temperatura e umidade, alguns processos-chave máquinas farmacêuticas devem ser organizadas em áreas de maior limpeza ou controle de temperatura e umidade são as tendências de design de oficinas limpas para fabricação de circuitos integrados. A fabricação de circuitos integrados é uma indústria com alto consumo de energia, e o consumo de energia do sistema de ar condicionado limpo é responsável por mais de 30% dele. Portanto, o design de salas limpas seguras e com economia de energia e vários projetos de recuperação de energia térmica serão a direção do desenvolvimento futuro. Com a atualização contínua da tecnologia de fabricação de circuitos integrados, os principais fabricantes entraram na era nano, e o design, a construção e a eficiência de economia de energia das oficinas limpas de fabricação de circuitos integrados também precisam ser continuamente melhorados para fornecer garantia para a produção de processos de alta qualidade. produtos.

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