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Requisitos de diseño y construcción de un taller libre de polvo de circuitos integrados.

circuito integrado cuarto limpio Requisitos de diseño y construcción La sala limpia de circuitos integrados es una sala limpia para satisfacer las necesidades del proceso de fabricación de semiconductores. La sala limpia tiene ciertos requisitos de limpieza ambiental, temperatura y humedad, vibración, ESD y control de AMC. En comparación con otras salas blancas industriales, la sala blanca farmacéutica libre de polvo para fabricación de circuitos integrados tiene las características de área grande, alto nivel de limpieza y alta precisión de control de temperatura y humedad. Según las características de circulación de aire del taller de sala limpia, la sala limpia se puede dividir en tres tipos: aire acondicionado circulante con sistema de suministro de aire de alta eficiencia, ventilador circulante con sistema de sellado húmedo y sistema de circulación FFU. La primera forma se utiliza ampliamente en el diseño de talleres de salas limpias con requisitos de pequeña escala y bajo nivel. Para las salas blancas de gran superficie y de alto nivel, existen desventajas como los altos costos operativos y la excesiva ocupación del espacio. La primera forma de diseño puede cumplir con los requisitos a gran escala y de alto nivel de los talleres libres de polvo de fabricación de circuitos integrados, pero el costo operativo es alto y es difícil ajustar la velocidad y el volumen del aire en la sala limpia, y Es difícil actualizar el sistema, por lo que la flexibilidad operativa es muy baja. El tercer tipo de sistema de circulación FFU no solo ahorra espacio operativo, tiene un alto nivel de limpieza y seguridad y tiene bajos costos operativos, sino que también tiene una alta flexibilidad operativa, que puede actualizarse y ajustarse en cualquier momento sin afectar la producción. Para satisfacer las necesidades de la fabricación de semiconductores, el sistema de circulación FFU se ha convertido gradualmente en el esquema de diseño de purificación más importante en la industria de fabricación de semiconductores. Las características del sistema de circulación FFU son: toda la sala limpia está compuesta por una capa de presión estática, una capa de proceso, una capa auxiliar de proceso y un canal de aire de retorno. En la capa de proceso y la capa auxiliar del proceso, la capa de presión estática es una presión negativa con respecto a la capa de proceso. Además, existe un área auxiliar de producción para el área de equipos de la planta de fabricación de circuitos integrados, que incluye suministro de energía, suministro de gas y productos químicos, suministro de agua ultrapura, etc. La fabricación de circuitos integrados tiene requisitos más estrictos sobre el control del entorno de la sala limpia. Diferentes procesos tienen diferentes requisitos de limpieza. Por ejemplo, la litografía requiere un microambiente de nivel 1, mientras que el pulido mecánico químico solo requiere un entorno de nivel 1000. Además, el taller limpio de fabricación de circuitos integrados cuenta con regulaciones y requisitos relevantes sobre ruido, microvibración, iluminancia, etc., especialmente el control de la vibración, que debe ser requerido en el diseño arquitectónico de la sala limpia. Un buen diseño de sala blanca farmacéutica no solo puede ahorrar energía, reducir los costos operativos y la mano de obra, sino que también proporciona una garantía total para la producción. Entre los tres sistemas de limpieza, el sistema de circulación FFU tiene el mayor costo operativo y una limpieza segura. Por lo tanto, la sala limpia farmacéutica con circuito integrado adopta principalmente el sistema de circulación FFU. Cuanto mayores sean los requisitos de limpieza y mayor la precisión del control de temperatura y humedad, mayores serán la inversión en la sala limpia y los costos operativos. Por lo tanto, en el caso de requisitos de limpieza ambiental o temperatura y humedad relativamente bajos, es necesario realizar algún proceso clave. maquinaria farmaceutica deben disponerse en áreas más altas de limpieza o control de temperatura y humedad son las tendencias de diseño de talleres limpios para la fabricación de circuitos integrados. La fabricación de circuitos integrados es una industria con un alto consumo de energía, y el consumo de energía del sistema de aire acondicionado limpio representa más del 30% del mismo. Por lo tanto, el diseño de salas limpias seguras y que ahorran energía y varios diseños de recuperación de energía térmica serán la dirección del desarrollo futuro. Con la mejora continua de la tecnología de fabricación de circuitos integrados, los principales fabricantes han entrado en la era nano, y el diseño, la construcción y la eficiencia de ahorro de energía de los talleres limpios de fabricación de circuitos integrados también deben mejorarse continuamente para brindar garantía para la producción de procesos de alta gama. productos.

La mayoría de las personas que ven una máquina en funcionamiento por primera vez se sorprenden de lo bien que se maneja la máquina de extracción.

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