Exigences de conception et de construction d'un atelier sans poussière de circuits intégrés

Circuit intégré salle blanche exigences de conception et de construction La salle blanche des circuits intégrés est une salle blanche destinée à répondre aux besoins du processus de fabrication des semi-conducteurs. La salle blanche a certaines exigences en matière de propreté environnementale, de température et d'humidité, de vibration, d'ESD et de contrôle AMC. Comparée à d'autres salles blanches industrielles, la salle blanche pharmaceutique sans poussière de fabrication de circuits intégrés présente les caractéristiques d'une grande surface, d'un niveau de propreté élevé et d'une précision de contrôle élevée de la température et de l'humidité. Selon les caractéristiques de circulation de l'air de l'atelier de salle blanche, la salle blanche peut être divisée en trois types : climatiseur à circulation avec système d'alimentation en air à haut rendement, ventilateur de circulation avec système d'étanchéité humide et système de circulation FFU. La première forme est largement utilisée dans la conception d’ateliers en salle blanche avec des exigences à petite échelle et de faible niveau. Les salles blanches de grande surface et de haut niveau présentent des inconvénients tels que des coûts d'exploitation élevés et une occupation excessive de l'espace. La première forme de conception peut répondre aux exigences à grande échelle et de haut niveau des ateliers sans poussière de fabrication de circuits intégrés, mais le coût d'exploitation est élevé et il est difficile d'ajuster la vitesse et le volume d'air dans la salle blanche, et il est difficile de mettre à niveau le système, la flexibilité opérationnelle est donc très faible. Le troisième type de système de circulation FFU permet non seulement d'économiser de l'espace d'exploitation, présente une propreté et une sécurité élevées et présente de faibles coûts d'exploitation, mais présente également une flexibilité opérationnelle élevée, qui peut être mise à niveau et ajustée à tout moment sans affecter la production. Pour répondre aux besoins de la fabrication de semi-conducteurs, le système de circulation FFU est progressivement devenu le système de conception de purification le plus important dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Les caractéristiques du système de circulation FFU sont les suivantes : la salle blanche entière est composée d'une couche de pression statique, d'une couche de processus, d'une couche auxiliaire de processus et d'un canal d'air de retour. Dans la couche de traitement et la couche auxiliaire de traitement, la couche de pression statique est à pression négative par rapport à la couche de traitement. En outre, il existe une zone auxiliaire de production pour la zone d'équipement de l'usine de fabrication de circuits intégrés, comprenant l'alimentation électrique, l'approvisionnement en gaz et produits chimiques, l'approvisionnement en eau ultrapure, etc. La fabrication de circuits intégrés impose des exigences plus strictes en matière de contrôle de l’environnement de la salle blanche. Différents processus ont des exigences différentes en matière de propreté. Par exemple, la lithographie nécessite un microenvironnement de niveau 1, tandis que le polissage chimico-mécanique ne nécessite qu'un environnement de niveau 1000. De plus, l'atelier propre de fabrication de circuits intégrés a des réglementations et des exigences pertinentes en matière de bruit, de micro-vibrations, d'éclairement, etc., en particulier le contrôle des vibrations, qui doivent être exigés dans la conception architecturale de la salle blanche. Une bonne conception de salle blanche pharmaceutique propre peut non seulement économiser de l'énergie, réduire les coûts d'exploitation et réduire la main-d'œuvre, mais également fournir une garantie complète pour la production. Parmi les trois systèmes de nettoyage, le système de circulation FFU présente le coût d'exploitation et la propreté sûre les plus élevés. Par conséquent, la salle blanche pharmaceutique propre à circuits intégrés adopte principalement le système de circulation FFU. Plus les exigences de propreté sont élevées et plus la précision du contrôle de la température et de l’humidité est élevée, plus l’investissement et les coûts d’exploitation de la salle blanche sont élevés. Par conséquent, dans le cas d'exigences relativement faibles en matière de propreté environnementale ou de température et d'humidité, certains processus clés machines pharmaceutiques doivent être aménagés à des niveaux plus élevés. Les zones de propreté ou de contrôle de la température et de l'humidité sont les tendances de conception des ateliers propres pour la fabrication de circuits intégrés. La fabrication de circuits intégrés est une industrie à forte consommation d'énergie, et la consommation d'énergie des systèmes de climatisation propres en représente plus de 30 %. Par conséquent, la conception de salles blanches sûres et économes en énergie ainsi que diverses conceptions de récupération d’énergie thermique constitueront l’orientation future du développement. Avec la mise à niveau continue de la technologie de fabrication de circuits intégrés, les grands fabricants sont entrés dans l'ère nano, et la conception, la construction et l'efficacité énergétique des ateliers propres de fabrication de circuits intégrés doivent également être continuellement améliorées pour garantir la production de processus haut de gamme. produits.

La plupart des gens qui voient une machine en fonctionnement pour la première fois sont étonnés de la façon dont la machine d'extraction est gérée.

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