¿Cómo distinguir las funciones del agua fría, agua de enfriamiento de proceso y torres de enfriamiento?

El uso de agua fría, agua de enfriamiento de procesos y torres de enfriamiento: 1) Agua fría: se utiliza para el control ambiental de salas limpias, agua de enfriamiento de procesos PCW, preparación de agua pura y disipación de calor de subestaciones.

Agua de enfriamiento de proceso (PCW): Los equipos de proceso (no solo los equipos de fabricación de chips, sino también algunos equipos de corte, rectificado, pulido y equipos auxiliares, básicamente todos utilizan agua de enfriamiento de proceso PCW para enfriamiento).

Torre de enfriamiento: se refiere al agua de enfriamiento general. El agua de enfriamiento en la torre de enfriamiento se utiliza principalmente para enfriar equipos de energía, como estaciones de refrigeración, compresores de aire y otros equipos grandes en CUB para disipar el calor.

La función de la unidad enfriadora es intercambiar calor con agua fría y procesar agua de enfriamiento a través de la circulación de refrigerante (comúnmente R134A). El agua fría puede ser de temperatura media o baja, mientras que PCW es equivalente a una rama del sistema de refrigeración CUB (en realidad, "agua fría a temperatura relativamente alta"), sin su propio sistema independiente. El agua de enfriamiento del proceso experimenta un intercambio de calor con la unidad enfriadora para reducir el calor. Las torres de enfriamiento son relativamente independientes del agua helada y del agua de enfriamiento de procesos, y también pueden denominarse "agua de enfriamiento general", que se utiliza para la disipación de calor de equipos grandes, como estaciones de refrigeración y compresores de aire, como se mencionó anteriormente. Entonces, ¿por qué no utilizar directamente el agua de refrigeración por condensación (PCW) para disipar el calor de las estaciones de refrigeración, compresores de aire, etc.? Principalmente porque el PCW utiliza electricidad para el suministro de energía, lo cual es costoso, y los requisitos de calidad del agua de refrigeración para los equipos de proceso son relativamente altos (generalmente agua pura primaria). En las estaciones de refrigeración, compresores de aire, etc., los requisitos de calidad del agua son relativamente bajos. Al utilizar torres de refrigeración para disipar el calor y intercambiarlo con la atmósfera, la relación coste-beneficio es especialmente destacada. Esta es también la razón para colocar la torre de refrigeración directamente sobre el techo del CUB.

Rango de temperatura del agua: (1) Agua fría: La temperatura suele ser baja, con la temperatura del agua de entrada generalmente alrededor de 12 ℃ ~ 18 ℃ y la temperatura del agua de salida generalmente alrededor de 6 ℃ ~ 12 ℃ (la temperatura de suministro de agua fría en las fábricas de semiconductores generalmente se divide en temperatura baja (alrededor de 6 ℃) y temperatura media (alrededor de 12 ℃) para cumplir con los diferentes requisitos del equipo); (2) Agua de enfriamiento de proceso: La temperatura es relativamente alta, generalmente la temperatura de entrada es de alrededor de 35-40 ℃ y la temperatura de salida es de alrededor de 30-35 ℃. (3) Agua de enfriamiento de la torre de enfriamiento: generalmente, la temperatura de entrada está entre 30 ℃ -40 ℃ y la temperatura de salida está entre 25 ℃ -32 ℃.

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2025/03/31

Gino