Wie unterscheidet man die Funktionen von Kaltwasser, Prozesskühlwasser und Kühltürmen?
Die Verwendung von Kaltwasser, Prozesskühlwasser und Kühltürmen: 1) Kaltwasser: Wird zur Umweltkontrolle in Reinräumen, als PCW-Prozesskühlwasser, zur Aufbereitung von Reinwasser und zur Wärmeableitung in Umspannwerken verwendet.
Prozesskühlwasser (PCW): Prozessgeräte (nicht nur Chipherstellungsgeräte, sondern auch einige Schneide-, Schleif-, Poliergeräte und Zusatzgeräte verwenden grundsätzlich PCW-Prozesskühlwasser zur Kühlung).
Kühlturm: bezieht sich auf allgemeines Kühlwasser. Das Kühlwasser im Kühlturm wird hauptsächlich zur Kühlung von Kraftgeräten wie Kühlstationen, Luftkompressoren und anderen großen Geräten in CUB zur Wärmeableitung verwendet.
Die Funktion der Kühleinheit besteht darin, durch die Zirkulation des Kühlmittels (üblicherweise R134A) Wärme mit Kaltwasser und Prozesskühlwasser auszutauschen. Kühlwasser kann eine mittlere oder niedrige Temperatur haben, während PCW einem Zweig des CUB-Kühlsystems (tatsächlich „Kühlwasser mit relativ hoher Temperatur“) ohne eigenes unabhängiges System entspricht. Das Prozesskühlwasser unterliegt einem Wärmeaustausch mit der Kühleinheit, um die Wärme abzubauen. Kühltürme sind relativ unabhängig von Kaltwasser und Prozesskühlwasser und können auch als „allgemeines Kühlwasser“ bezeichnet werden, das zur Wärmeableitung großer Geräte wie Kühlstationen und Luftkompressoren verwendet wird, wie oben erwähnt. Warum also nicht PCW direkt zur Wärmeableitung von Kühlanlagen, Luftkompressoren usw. nutzen? Hauptsächlich, weil PCW Strom für die Energieversorgung verbraucht, was teuer ist, und die Anforderungen an die Kühlwasserqualität für Prozessanlagen relativ hoch sind (normalerweise primäres Reinwasser). Bei Kühlstationen, Luftkompressoren etc. sind die Anforderungen an die Wasserqualität relativ gering. Durch den Einsatz von Kühltürmen zur Wärmeableitung und zum Wärmeaustausch mit der Atmosphäre ist die Wirtschaftlichkeit besonders ausgeprägt. Dies ist auch der Grund, warum der Kühlturm direkt auf dem CUB-Dach platziert wurde.
Wassertemperaturbereich: (1) Kühlwasser: Die Temperatur ist normalerweise niedrig, wobei die Einlasswassertemperatur normalerweise bei etwa 12 bis 18 °C und die Auslasswassertemperatur im Allgemeinen bei etwa 6 bis 12 °C liegt (die Kühlwasserversorgungstemperatur in Halbleiterfabriken wird im Allgemeinen in niedrige Temperatur (ca. 6 °C) und mittlere Temperatur (ca. 12 °C) unterteilt, um unterschiedliche Geräteanforderungen zu erfüllen); (2) Prozesskühlwasser: Die Temperatur ist relativ hoch, im Allgemeinen liegt die Einlasstemperatur bei etwa 35–40 °C und die Auslasstemperatur bei etwa 30–35 °C. (3) Kühlturm-Kühlwasser: Im Allgemeinen liegt die Einlasstemperatur zwischen 30 °C und 40 °C und die Auslasstemperatur zwischen 25 °C und 32 °C.
Suzhou Pharma Machinery Co., Ltd.
2025/03/31
Gino
