Einführung in die Arten von Absaugsystemen in Reinräumen/reinen Produktionsanlagen

(1) Allgemeines Abgassystem

Dieses System dient zur Ableitung allgemeiner Abgase aus Nebenproduktionsräumen und Wohneinrichtungen wie Diensträumen und Toiletten. In den meisten Fällen erfordert diese Art von Abgas keine besondere Behandlung und kann direkt in die Atmosphäre abgegeben werden.

(2) Organisches Gasabsaugsystem

Zu den gängigen Reinigungsverfahren für organische Abgase zählen Aktivkohleadsorption, Flüssigkeitsabsorption und katalytische Verbrennung:

Die Aktivkohleadsorption wird vorwiegend zur Behandlung organischer Abgase (z. B. Benzol und Benzin) mit kleinen bis mittleren Volumenströmen eingesetzt, die weder Staub noch klebrige Stoffe enthalten.

Die Flüssigkeitsabsorption zeichnet sich durch eine einfache Ausrüstung und einen geringen Energieverbrauch aus, weist jedoch eine relativ geringe Absorptionseffizienz auf.

Die katalytische Verbrennung wird hauptsächlich zur Behandlung hochkonzentrierter organischer Abgase eingesetzt, die beispielsweise Benzol, Alkohole, Ester und Benzin enthalten.

Die Auswahl der Geräte zur Behandlung organischer Gase sollte auf der Art und Konzentration der organischen Substanzen im Abgassystem basieren.

(3) Saures Gasabsaugsystem

Bei der Produktherstellung werden bei Prozessen wie dem nasschemischen Ätzen, der Säurereinigung und Laborvorgängen saure Gase freigesetzt. Bei derartigen Abgassystemen für saure Gase werden üblicherweise Nasswäschertürme installiert, um das Gas zu behandeln, bevor es in die Atmosphäre abgegeben wird.

(4) Alkalisches Gasabsaugsystem

Wenn das Gas im Abgassystem alkalische Substanzen enthält oder alkalische chemische Reagenzien in das Abgas gemischt werden, werden typischerweise Nasswäschertürme zur Behandlung verwendet.—ähnlich dem Sauergasabgassystem—bevor das Gas in die Atmosphäre abgegeben wird. Aufgrund der immer strengeren Emissionsnormen für die Luft müssen in den letzten Jahren sogar Abgase mit geringen Konzentrationen alkalischer (oder saurer) Substanzen einer Reinigung unterzogen werden, um die Emissionsanforderungen zu erfüllen.

(5) Heißgasabgassystem

Verschiedene Öfen, Hochtemperatur-Sterilisationsgeräte und andere Geräte im Produktionsprozess geben heißes Gas ab. Da die Temperatur des Abgases relativ hoch ist, können in einigen Fällen Wärmerückgewinnungs- oder andere Behandlungsmethoden eingesetzt werden. Wenn das Abgasvolumen gering ist oder eine Behandlung nicht praktikabel ist, kann das Gas nach der Umsetzung der erforderlichen Wärmedämmungsmaßnahmen direkt in die Atmosphäre abgegeben werden.

(6) Staubhaltiges Absaugsystem

Aufgrund unterschiedlicher Produktarten und Produktionsverfahren variieren Art und Konzentration des Staubs im Abgas. Die Auswahl der Entstaubungsgeräte sollte auf der Grundlage der Art und Konzentration des Staubs im Abgas erfolgen. Gängige Optionen sind beispielsweise Beutelfilter und mit Filterelementen ausgestattete Filtergeräte.

Durch Methoden wie Klopfen, Rückblasen oder den Austausch von Filterelementen können derartige Geräte für den Langzeitgebrauch instand gehalten werden. Bei manchen staubhaltigen Abgassystemen mit extrem hohen Staubkonzentrationen kann es je nach den spezifischen technischen Bedingungen erforderlich sein, sekundäre Staubentfernungsgeräte zu installieren, um den größten Teil des Staubs zu entfernen, bevor das Gas zu den oben genannten Beutelfiltern oder Filterstaubsammlern geleitet wird. Diese Maßnahme ist unerlässlich, um die Emissionsgrenzwerte für die Atmosphäre einzuhalten und einen stabilen, kostengünstigen Betrieb sicherzustellen.

(7) Spezielles Abgassystem

Bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen werden häufig verschiedene Spezialgase verwendet—Viele davon sind entzündlich, explosiv, giftig, hochgiftig oder ätzend. Für solche Abgassysteme müssen folgende Anforderungen erfüllt sein:

Zunächst müssen Abgassysteme nach Art und Beschaffenheit der Sondergase klassifiziert werden, um chemische Reaktionen innerhalb des Abgassystems zu verhindern.

Zweitens sollten spezielle Abgasbehandlungsgeräte ausgewählt werden; zu den Behandlungsmethoden für spezielle Abgase gehören Verdünnung, Absorption, Adsorption, katalytische Verbrennung und mehr.

Drittens müssen die für die Geräte und Rohrleitungen im Abgassystem verwendeten Materialien auf der Grundlage der Art der im Abgas enthaltenen Sondergase ausgewählt werden, um sicherzustellen, dass sie nicht mit den austretenden Sondergasen reagieren.

(8) Gefährliche und giftige Abgassysteme für die pharmazeutische Produktion

Bei der Herstellung oder Abgabe hochsensibilisierender Medikamente (z. B. Penicillin), bestimmter Steroidmedikamente sowie hochwirksamer und toxischer Medikamente und an den Abluftöffnungen von Betriebsbereichen mit Krankheitserregern der Biosicherheitsstufe 2 oder höher müssen Hochleistungsluftfilter (HEPA) installiert werden, um das Verschmutzungsrisiko zu minimieren. Darüber hinaus sollten die Abluftauslässe solcher Abluftsysteme (die in die Atmosphäre entladen) in einem bestimmten Abstand von den Frischlufteinlässen anderer gereinigter Klimaanlagen gehalten werden, die in der pharmazeutischen Produktion verwendet werden.