Reinheitsklassenanforderungen für Reinräume [Beispiele für Industrieanwendungen]1
Anforderungen an den Sauberkeitsgrad sauberer Werkstätten [Beispiel für eine Industrieanwendung] Gegenwärtig werden saubere Werkstätten häufig in der Produktproduktion in allen Lebensbereichen oder bei anderen Umweltkontrollanforderungen eingesetzt, um Partikelverschmutzung und mikrobielle Verschmutzung zu verhindern. Der Produktionsprozess verschiedener Produkte ist unterschiedlich und die Anforderungen an die Verwendung sind unterschiedlich, sodass der Inhalt und die Indikatoren der Kontrollumgebung nicht gleich sind. Der Inhalt der Umweltkontrolle im sogenannten Reinraum sollte Folgendes umfassen: Luftreinigung, saubere Gebäude, Wasser oder Gas oder Chemikalien in direktem Kontakt mit Produkten, Verschmutzungskontrolle von Produktionsmaschinen, Werkzeugen usw. sowie Kontrolle von Mikrovibrationen , Lärm, statische Elektrizität usw. verhindern usw. Daher erfordert die Gestaltung des Reinraums nicht nur die Reinigung der Innenluft, um den angegebenen Luftreinheitsgrad zu erreichen, sondern muss auch eine Verschmutzung verhindern, die durch unsachgemäße Baumaterialien und Dekorationsmethoden des Reinraums verursacht wird, und einige Reinräume erfordern auch eine Versorgung Reinstwasser, Reinstgas und hochreine Chemikalien usw. 1. Der für integrierte Halbleiterschaltkreise erforderliche Luftreinheitsgrad Der für die Produktionsumgebung für integrierte Schaltkreise erforderliche Luftreinheitsgrad hängt hauptsächlich vom Integrationsgrad des integrierten Schaltkreises ab. Der Luftreinheitsgrad verschiedener Prozesse wird anhand der Wahrscheinlichkeit einer möglichen Verschmutzung und eines möglichen Geräteausfalls ermittelt. Von. Zum Beispiel: Beispiel 1. Die Vorprozess-Reinigungswerkstatt für integrierte Schaltkreise einer Fabrik. Die staubfreie Werkstatt ist für die Verarbeitung und Produktion von 6-Zoll-Siliziumwafern und 1M integrierten Schaltkreisen ausgelegt. Anforderungen an die Reinheitsstufe der Staubraumluft: ISO-Stufe 3, Ionenimplantation in der Fotolithografie, Dispensierbereich, Ätz-CVD, Epitaxie, Diffusion und andere Betriebsbereiche, ISO-Stufe 3, Ionenimplantation, Ätz-CVD, Epitaxie, Diffusion und andere Wartungsbereiche, ISO-Stufe 5, Beispiel 2. Der Vorprozess sauberer integrierter Schaltkreise einer Fabrik Pharmazeutischer Reinraum . Die staubfreie Werkstatt ist für die Verarbeitung und Produktion von 5-Zoll-Siliziumwafern, integrierten 256K-Schaltkreisen, speziell geformten grafischen Linealen von 2,0 µm und einer Kontrollpartikelgröße von 0,2 µm ausgelegt. Der Luftreinheitsgrad des staubfreien pharmazeutischen Reinraums. Anforderungen: ISO 3, Ionenimplantation in der Fotolithographie, Größenbereich, Ätzen, CVD, Epitaxie, Diffusion und andere Betriebsbereiche, ISO 4, Ionenimplantation, Ätzen, CVD, Epitaxie, Diffusion und andere Wartungsbereiche, ISO 6 Stufe 2, einige Produktionsumgebungen für elektronische Produkte Mit der Entwicklung der Technologie der Informationsindustrie, der Verbesserung der Leistung und Qualität vieler elektronischer Produkte und der Miniaturisierung des Produktionsprozesses wird zunehmend gefordert, dass die Produktionsumgebung ein gewisses Maß an Luftreinheit aufweist Steuern Sie die Prozessproduktion in der staubfreien Werkstatt. Bezüglich der Versorgungsqualität verschiedener hochreiner Stoffe gibt es derzeit keine einheitliche Regelung zum Luftreinheitsgrad oder zu den Anforderungen an die Produktionsumgebungskontrolle elektronischer Produkte im In- und Ausland. Technologie, Produktionsverfahren, Pharmamaschinen, Roh- und Hilfsstoffe für die Produktion sowie praktische Erfahrungen im Reinraumbetrieb bestimmen den Luftreinheitsgrad bei der Gestaltung und Konstruktion von Reinräumen. Zum Beispiel: Beispiel 1, ein Reinraum für die Herstellung von Dünnschichttransistor-Farbflüssigkristallanzeigen, TFT-LCD bietet die Vorteile einer geringen Größe, eines geringen Gewichts, einer einfachen Tragbarkeit, eines geringen Stromverbrauchs, lebendiger Farben, einer großen Kapazität und einer hochauflösenden Anzeige und so weiter. Der Luftreinheitsgrad jedes Reinraums wird auf eine Partikelgröße von 0,3 µm kontrolliert. Reinigen, Kleben, Belichtungsraum, ISO 4-Niveau, Entwicklung, Ätzraum, ISO 5-Niveau, Kastenformung, ISO-Niveau 5, Sputtern, CVD-Raum, ISO 6-Niveau. Beispiel 2: Eine saubere Werkstatt für die Produktion von Bändern mit hoher Dichte und ein Reinraum zur Kontrolle Die Partikelgröße beträgt 0,5 um. Der Luftreinheitsgrad jedes Reinraums erfordert ISO 5-Ersatzteile für den Beschichtungskopf, das Bandschneiden, die Bandbasis, die Prüfung, den Beschichtungsraum und die Trocknung. Trocknungs- und Aushärtungsräume, ISO 6-Montageraum, Wartungsraum und einige Rohstofflager, ISO 7-Schleif-, Pharmamaschinen- und Zubehörraum, ISO 8-Fertigproduktlager und einige Rohstofflager, Quasi-Reinraum 3, High-Tech-Maschinen, Feinchemikalien und andere Produkte Produktion Der Luftreinheitsgrad der Umgebung Beispiel 1. Eine staubfreie Werkstatt zur Herstellung von Gyroskopen. Der Luftreinheitsgrad der staubfreien Werkstatt muss im Montageraum ISO 6 betragen. ISO 5 im Lagerbearbeitungsraum. Beispiel 2. Kopf, Beschichtungsmaschinenkopf ISO-Klasse 5 Beschichtungskammer, Gießmaschinenkammer ISO-Klasse 6
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