Exigences de classe de propreté pour les salles blanches [exemples d'applications industrielles]1

Exigences de niveau de propreté des ateliers propres [Exemple d'application industrielle] À l'heure actuelle, les ateliers propres ont été largement utilisés dans la production de produits dans tous les domaines ou d'autres exigences de contrôle environnemental pour prévenir la pollution particulaire et la pollution microbienne. Le processus de production de différents produits est différent et les exigences d'utilisation sont différentes, de sorte que le contenu et les indicateurs de l'environnement de contrôle ne sont pas les mêmes. Le contenu du contrôle environnemental dans la salle dite propre doit inclure : la purification de l'air, la propreté des bâtiments, de l'eau ou du gaz ou des produits chimiques en contact direct avec les produits, le contrôle de la pollution des machines de production pharmaceutique, des outils, etc., et le contrôle des micro-vibrations. , bruit, électricité statique, etc. prévenir etc. Par conséquent, la conception de la salle blanche nécessite non seulement la purification de l'air intérieur pour atteindre le niveau de pureté de l'air spécifié, mais doit également empêcher la pollution causée par des matériaux de construction et des méthodes de décoration inappropriés de la salle blanche, et certaines salles blanches nécessitent également un approvisionnement. Eau ultra pure, gaz ultra pur et produits chimiques de haute pureté, etc. 1. Le niveau de pureté de l'air requis par les circuits intégrés à semi-conducteurs Le niveau de pureté de l'air requis par l'environnement de production des circuits intégrés dépend principalement du degré d'intégration du circuit intégré. Le niveau de pureté de l'air des différents processus est déterminé en fonction de la probabilité d'une éventuelle pollution et de la défaillance potentielle de l'appareil. De. Par exemple : Exemple 1. Atelier propre de prétraitement des circuits intégrés d'une usine. L'atelier sans poussière est conçu pour traiter et produire des plaquettes de silicium de 6 pouces et des circuits intégrés 1M. Exigences en matière de niveau de propreté de l'air des salles poussiéreuses : implantation ionique ISO niveau 3 en photolithographie, zone de distribution, gravure CVD, épitaxie, diffusion et autres zones d'opération. Implantation ionique ISO niveau 3, gravure CVD, épitaxie, diffusion et autres zones de maintenance Niveau ISO 5 Exemple 2. Nettoyage préalable du circuit intégré d'une usine salle blanche pharmaceutique . L'atelier sans poussière est conçu pour traiter et produire des plaquettes de silicium de 5 pouces, des circuits intégrés 256K, des règles graphiques de forme spéciale de 2,0 um et contrôler la taille des particules de 0,2 um. Le niveau de pureté de l'air de la salle blanche pharmaceutique sans poussière Exigences : ISO 3 implantation ionique en photolithographie, zone d'encollage, gravure CVD, épitaxie, diffusion et autres zones opératoires ISO 4 implantation ionique, gravure CVD, épitaxie, diffusion et autres zones de maintenance ISO 6 niveau 2, certains environnements de production de produits électroniques Avec le développement des technologies de l'industrie de l'information, l'amélioration des performances et de la qualité de nombreux produits électroniques et la miniaturisation du processus de production, l'environnement de production doit de plus en plus avoir un certain niveau de pureté de l'air et contrôler le processus de production dans l'atelier sans poussière. Concernant la qualité de l'approvisionnement de diverses substances de haute pureté, il n'existe actuellement aucune réglementation unifiée sur le niveau de pureté de l'air ou les exigences de contrôle de l'environnement de production des produits électroniques au pays et à l'étranger. La technologie, les processus de production des machines pharmaceutiques, les matières premières et auxiliaires pour la production et l'expérience pratique du fonctionnement de la salle blanche déterminent le niveau de pureté de l'air lors de la conception et de la construction de la salle blanche. Par exemple : Exemple 1, une salle blanche pour la production d'écrans à cristaux liquides couleur à transistors à couches minces, TFT-LCD présente les avantages d'une petite taille, d'un poids léger, d'une portabilité facile, d'une faible consommation d'énergie, de couleurs vives, d'une grande capacité et d'un affichage haute résolution. et ainsi de suite. Le niveau de pureté de l'air de chaque salle blanche est contrôlé à une taille de particule de 0,3 um. Salle de nettoyage, collage, salle d'exposition niveau développement ISO 4, salle de gravure niveau ISO 5, formation de caissons pulvérisation niveau ISO 5, salle CVD niveau ISO 6 Exemple 2, Un atelier propre pour la production de bandes haute densité, et une salle blanche pour contrôler la taille des particules de 0,5 um. Le niveau de pureté de l'air de chaque salle blanche nécessite des pièces de rechange ISO 5 pour la tête d'enduction, la découpe du ruban, la base du ruban, les tests, la salle d'enduction et le séchage. Salles de séchage et de durcissement ISO 6 salle d'assemblage, salle de maintenance et certains entrepôts de matières premières ISO 7 salle de ponçage, salle de machines et accessoires pharmaceutiques Entrepôt de produits finis ISO 8 et certains entrepôts de matières premières quasi-salle blanche 3, machines de haute technologie, produits chimiques fins et autres produits production Le niveau de pureté de l’air de l’environnement Exemple 1. Un atelier sans poussière pour la fabrication de gyroscopes Le niveau de pureté de l'air de l'atelier sans poussière doit être ISO 6 dans la salle de montage. ISO 5 dans la salle de traitement des roulements. Exemple 2. Tête, tête de machine de revêtement Chambre de revêtement ISO classe 5, chambre de machine de coulée classe ISO 6

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