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Requisitos de clase de limpieza para salas blancas [ejemplos de aplicaciones industriales]1

Requisitos de nivel de limpieza de talleres limpios [Ejemplo de aplicación industrial] En la actualidad, los talleres limpios se han utilizado ampliamente en la producción de productos en todos los ámbitos de la vida u otros requisitos de control ambiental para prevenir la contaminación por partículas y microbios. El proceso de producción de varios productos es diferente y los requisitos de uso son diferentes, por lo que el contenido y los indicadores del entorno de control no son los mismos. El contenido del control ambiental en la denominada sala limpia debe incluir: purificación del aire, limpieza de los edificios, agua o gas o productos químicos en contacto directo con los productos, control de la contaminación de la maquinaria, herramientas, etc. de producción farmacéutica, y control de las microvibraciones. , ruido, electricidad estática, etc. prevenir etc Por lo tanto, el diseño de la sala limpia no solo requiere la purificación del aire interior para lograr el nivel de limpieza del aire especificado, sino que también debe evitar la contaminación causada por materiales de construcción y métodos de decoración inadecuados de la sala limpia, y algunas salas limpias también requieren suministro. Agua ultrapura, gas ultrapuro y productos químicos de alta pureza, etc. 1. El nivel de limpieza del aire requerido por los circuitos integrados de semiconductores El nivel de limpieza del aire requerido por el entorno de producción de circuitos integrados depende principalmente del grado de integración del circuito integrado. El nivel de limpieza del aire de diferentes procesos se determina en función de la probabilidad de posible contaminación y del posible fallo del dispositivo. De. Por ejemplo: Ejemplo 1. Taller de limpieza previa al proceso de circuitos integrados de una fábrica. El taller libre de polvo está diseñado para procesar y producir obleas de silicio de 6 pulgadas y circuitos integrados de 1M. Requisitos de nivel de limpieza del aire de la sala de polvo: Implantación de iones ISO nivel 3 en fotolitografía, área de dispensación, grabado CVD, epitaxia, difusión y otras áreas de operación Implantación de iones ISO nivel 3, grabado CVD, epitaxia, difusión y otras áreas de mantenimiento ISO nivel 5 Ejemplo 2. Limpieza previa al proceso de circuito integrado de una fábrica sala blanca farmacéutica . El taller libre de polvo está diseñado para procesar y producir obleas de silicio de 5 pulgadas, circuitos integrados de 256K, reglas gráficas con formas especiales de 2,0 um y controlar el tamaño de partículas de 0,2 um. El nivel de limpieza del aire de la sala limpia farmacéutica libre de polvo Requisitos: ISO 3 implantación de iones en fotolitografía, área de dimensionamiento, grabado CVD, epitaxia, difusión y otras áreas operativas ISO 4 implantación de iones, grabado CVD, epitaxia, difusión y otras áreas de mantenimiento ISO 6 Nivel 2, algunos entornos de producción de productos electrónicos Con el desarrollo de la tecnología de la industria de la información, la mejora del rendimiento y la calidad de muchos productos electrónicos y la miniaturización del proceso de producción, se requiere cada vez más que el entorno de producción tenga un cierto nivel de limpieza del aire y Controlar el proceso de producción en el taller libre de polvo. En cuanto a la calidad del suministro de diversas sustancias de alta pureza, actualmente no existe una regulación unificada sobre el nivel de limpieza del aire o los requisitos de control del entorno de producción de productos electrónicos en el país y en el extranjero. La tecnología, el proceso de producción, la maquinaria farmacéutica, las materias primas y auxiliares para la producción y la experiencia práctica en el funcionamiento de una sala limpia determinan el nivel de limpieza del aire en el diseño y la construcción de una sala limpia. Por ejemplo: Ejemplo 1, una sala limpia para la producción de pantallas de cristal líquido en color con transistores de película delgada, TFT-LCD tiene las ventajas de tamaño pequeño, peso ligero, fácil portabilidad, bajo consumo de energía, colores vivos, gran capacidad y pantalla de alta resolución. etcétera. El nivel de limpieza del aire de cada sala limpia se controla con un tamaño de partícula de 0,3 um. Limpieza, pegado, sala de exposición, desarrollo de nivel ISO 4, sala de grabado nivel ISO 5, formación de cajas, pulverización catódica ISO nivel 5, sala de CVD nivel ISO 6 Ejemplo 2, Un taller limpio para la producción de cintas de alta densidad y una sala limpia para el control. El tamaño de partícula de 0,5 um. El nivel de limpieza del aire de cada sala limpia requiere repuestos ISO 5 para el cabezal de recubrimiento, corte de cinta, base de cinta, pruebas, sala de recubrimiento y secado. Salas de secado y curado Sala de montaje, mantenimiento ISO 6 y almacén de algunas materias primas Sala de lijado, maquinaria y accesorios farmacéuticos ISO 7 Almacén de productos terminados ISO 8 y almacén de algunas materias primas Sala cuasi limpia 3, maquinaria de alta tecnología, productos químicos finos y otros productos producción El nivel de limpieza del aire del medio ambiente Ejemplo 1. Un taller libre de polvo para la producción de giroscopios El nivel de limpieza del aire del taller libre de polvo en la sala de montaje debe ser ISO 6. ISO 5 en la sala de procesamiento de rodamientos. Ejemplo 2. Cabezal, cabezal de máquina de recubrimiento Cámara de recubrimiento ISO Clase 5, Cámara de máquina de fundición Clase ISO 6

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