Requisitos de classe de limpeza para salas limpas [exemplos de aplicações industriais]1

Requisitos de nível de limpeza para oficinas limpas [Exemplo de aplicação na indústria] Atualmente, oficinas limpas têm sido amplamente utilizadas na produção de produtos em todas as esferas da vida ou outros requisitos de controle ambiental para prevenir a poluição por partículas e a poluição microbiana. O processo de produção de vários produtos é diferente e os requisitos de utilização são diferentes, portanto o conteúdo e os indicadores do ambiente de controle não são os mesmos. O conteúdo do controle ambiental na chamada sala limpa deve incluir: purificação do ar, limpeza de edifícios, água ou gás ou produtos químicos em contato direto com produtos, controle de poluição de máquinas de produção farmacêutica, ferramentas, etc., e controle de microvibração , ruído, eletricidade estática, etc. prevenir etc Portanto, o projeto da sala limpa não requer apenas a purificação do ar interno para atingir o nível de limpeza do ar especificado, mas também deve evitar a poluição causada por materiais de construção e métodos de decoração inadequados da sala limpa, e algumas salas limpas também exigem fornecimento Água ultrapura, gás ultrapuro e produtos químicos de alta pureza, etc. 1. O nível de limpeza do ar exigido pelos circuitos integrados semicondutores O nível de limpeza do ar exigido pelo ambiente de produção de circuitos integrados depende principalmente do grau de integração do circuito integrado. O nível de limpeza do ar de diferentes processos é determinado com base na probabilidade de possível poluição e na potencial falha do dispositivo. De. Por exemplo: Exemplo 1. Oficina de limpeza de pré-processamento de circuito integrado de uma fábrica. A oficina livre de poeira foi projetada para processar e produzir wafers de silício de 6 polegadas e circuitos integrados de 1M. Requisitos de nível de limpeza do ar em salas de poeira: implantação iônica ISO nível 3 em fotolitografia, área de distribuição, gravação de CVD, epitaxia, difusão e outras áreas de operação Implantação iônica ISO nível 3, gravação de CVD, epitaxia, difusão e outras áreas de manutenção ISO nível 5 Exemplo 2. Limpeza pré-processada de circuito integrado de fábrica sala limpa farmacêutica . A oficina livre de poeira foi projetada para processar e produzir wafers de silício de 5 polegadas, circuitos integrados de 256K, réguas gráficas de formato especial de 2,0um e controlar tamanho de partícula de 0,2um. O nível de limpeza do ar da sala limpa farmacêutica livre de poeira Requisitos: Implantação iônica ISO 3 em fotolitografia, área de dimensionamento, gravação de CVD, epitaxia, difusão e outras áreas operacionais Implantação iônica ISO 4, gravação de CVD, epitaxia, difusão e outras áreas de manutenção ISO 6 nível 2, alguns ambientes de produção de produtos eletrônicos Com o desenvolvimento da tecnologia da indústria da informação, a melhoria do desempenho e da qualidade de muitos produtos eletrônicos e a miniaturização do processo de produção, o ambiente de produção é cada vez mais obrigado a ter um certo nível de limpeza do ar e controle o processo de produção na oficina livre de poeira. No que diz respeito à qualidade do fornecimento de várias substâncias de alta pureza, não existe atualmente uma regulamentação unificada sobre o nível de limpeza do ar ou os requisitos de controlo do ambiente de produção de produtos eletrónicos no país e no estrangeiro. Tecnologia, processo de produção de máquinas farmacêuticas, matérias-primas e materiais auxiliares para produção e experiência prática de operação de salas limpas determinam o nível de limpeza do ar no projeto e construção de salas limpas. Por exemplo: Exemplo 1, uma sala limpa para a produção de telas de cristal líquido coloridas de transistor de filme fino, TFT-LCD tem as vantagens de tamanho pequeno, peso leve, fácil portabilidade, baixo consumo de energia, cores vivas, grande capacidade, tela de alta resolução e assim por diante. O nível de limpeza do ar de cada sala limpa é controlado para um tamanho de partícula de 0,3um. Limpeza, colagem, sala de exposição desenvolvimento de nível ISO 4, sala de gravação nível ISO 5, formação de caixa pulverização catódica ISO nível 5, sala CVD nível ISO 6 Exemplo 2, uma oficina limpa para a produção de fitas de alta densidade e uma sala limpa para controle o tamanho de partícula de 0,5um. O nível de limpeza do ar de cada sala limpa requer peças sobressalentes ISO 5 para a cabeça de revestimento, corte da fita, base da fita, testes, sala de revestimento e secagem. Salas de secagem e cura Sala de montagem ISO 6, sala de manutenção e algum armazém de matéria-prima Sala de lixamento ISO 7, máquinas farmacêuticas e acessórios Armazém de produtos acabados ISO 8 e algum armazém de matéria-prima sala quase limpa 3, máquinas de alta tecnologia, química fina e outros produtos produção O nível de limpeza do ar do ambiente Exemplo 1. Uma oficina livre de poeira para a produção de giroscópios O nível de limpeza do ar da oficina livre de poeira deve ser ISO 6 na sala de montagem. ISO 5 na sala de processamento de rolamentos. Exemplo 2. Cabeça, câmara de revestimento da classe 5 do ISO da cabeça da máquina de revestimento, classe ISO da câmara da máquina de fundição 6

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