Anforderungen und Standards für die statische Differenzdruckprüfung im Reinraum
Die statische Druckdifferenzerkennung des Reinraums soll die Wechselwirkung zwischen Innen- und Außenluftströmung verhindern. Die statische Druckdifferenz des Reinraums kann Überdruck oder Unterdruck sein. Die Anforderung zur Erkennung der statischen Druckdifferenz besteht darin, dass alle Türen im Reinraum des Reinraums geschlossen sind, und sie sollte in der Reihenfolge von der höchsten Reinheit nach unten durchgeführt werden, bis der Außenraum erkannt wird. Die Messdüse für den statischen Druck kann an einem Ort angebracht werden, an dem es im Reinraum keinen Luftstrom gibt, und die Oberfläche der Messdüse sollte parallel zum Luftstrom gehalten werden. Die aufgezeichneten und gemessenen Daten sind vorzugsweise auf 1,0 Pa genau. Gemäß der statischen Druckdifferenzerkennung des Reinraums sind die Messschritte: Schließen Sie zuerst die Türen des Reinraums und messen Sie dann mit einem Differenzdruckmessgerät den Druckunterschied zwischen dem Reinraum, dem Reinraum und dem Korridor Um den Unterschied zwischen Flur und Außenbereich zu ermitteln, zeichnen Sie alle Messdaten auf. Nach der statischen Druckdifferenz des sauberen Reinraum modular gemessen, der Über- oder Unterdruck des Reinraums entsprechend den Design- oder Prozessanforderungen aufrechterhalten und der qualifizierte Standard verglichen. 1. Der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraumbereich und dem Nicht-Reinraumbereich mit unterschiedlichen Niveaus sollte nicht weniger als 5 Pa betragen; 2. Der statische Druckunterschied zwischen Reinraum und Außenbereich sollte nicht weniger als 10 Pa betragen; 3. Der Reinheitsgrad der Außenluft sollte über 100 Pa liegen. Wenn sich die Einweg-Reinraumtür auf einer Ebene befindet, sollte die Staubkonzentration im Innenarbeitsbereich innerhalb von 0,6 Metern von der Tür nicht höher sein als der Staubkonzentrationsgrenzwert der entsprechenden Ebene. 4. Für diejenigen, die die oben genannten Standards nicht erfüllen, sollten die Frischluftmenge und die Abluftmenge des Reinraums neu angepasst werden, bis sie qualifiziert sind.
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