Requisitos e padrões de inspeção diferencial de pressão estática para salas limpas

A detecção da diferença de pressão estática da sala limpa evita a interação entre o fluxo de ar interno e externo. A diferença de pressão estática da sala limpa pode ser pressão positiva ou pressão negativa. O requisito de detecção de diferença de pressão estática é que todas as portas na área limpa da sala limpa estejam fechadas, e isso deve ser realizado na ordem da limpeza mais alta para a inferior até que a sala externa seja detectada. O bocal de medição de pressão estática pode ser localizado em um local onde não haja fluxo de ar na sala limpa, e a superfície do bocal de medição deve ser mantida paralela ao fluxo de ar. Os dados registrados e medidos têm preferencialmente precisão de 1,0Pa. De acordo com a detecção da diferença de pressão estática da sala limpa, as etapas de medição são: primeiro feche as portas da sala limpa e, em seguida, use um manômetro diferencial para medir a diferença entre a sala limpa, a sala limpa e o corredor. diferença entre o corredor e o exterior, registe todos os dados de medição. Após a diferença de pressão estática do limpo sala limpa modular é medida, a pressão positiva ou negativa da sala limpa é mantida de acordo com os requisitos do projeto ou do processo, e o padrão qualificado é comparado. 1. A diferença de pressão estática entre a área da sala limpa e a área da sala não limpa com diferentes níveis não deve ser inferior a 5Pa; 2. A diferença de pressão estática entre a sala limpa e a externa não deve ser inferior a 10Pa; 3. O nível de limpeza ao ar livre deve ser superior a 100 Pa. Quando a porta da sala limpa de fluxo unidirecional é de um nível, a concentração de poeira da área de trabalho interna dentro de 0,6 metros da porta não deve ser maior que o limite de concentração de poeira do nível correspondente. 4. Para aqueles que não atendem aos padrões acima, o volume de ar fresco e o volume de exaustão da sala limpa devem ser reajustados até que sejam qualificados.

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