Luftreinigung in Reinräumen

Das Prinzip der Luftreinigung in Reinräumen besteht hauptsächlich darin, Partikel, Mikroorganismen, Schadgase und andere Schadstoffe durch physikalische, chemische oder biologische Methoden aus der Luft zu entfernen, damit die Luftqualität in Innenräumen den vorgegebenen Standards entspricht. Je nach Behandlungsprinzipien kann die Luftreinigungstechnologie in Filtrationstechnologie, Adsorptionstechnologie, elektrostatische Staubentfernungstechnologie und Ozondesinfektionstechnologie unterteilt werden. Die Filtrationstechnologie ist eine der am häufigsten verwendeten Technologien zur Luftreinigung in Reinräumen. Durch seine innere Faserschicht fängt der Hochleistungsfilter die Partikel in der Luft effektiv ab und sorgt für eine erste Reinigung der Luft.

Die Luftreinigung in Reinräumen erfolgt im Wesentlichen in drei Phasen:

In der ersten Phase werden Temperatur und Luftfeuchtigkeit durch die Klimaanlage geregelt. Die in den Raum eintretende Frischluft wird durch einen in der Klimaanlage installierten Filter vorbehandelt, um grobe Partikel in der Luft abzufangen. Die Anlage befindet sich außerhalb der Wandverkleidung der physikalischen Isolationsschicht des Reinraums, und die vorbehandelte Luft gelangt in die Innenseite der Wandverkleidung des Reinraums. Die technischen Anforderungen an den Filter liegen unter dem mittleren Niveau. Die Ausstattung von Klimaanlagen mit Filtern ist ebenfalls eine gängige Funktion. Es wird gängige Standard-Luftaufbereitungstechnologie verwendet. Die Einsatzszenarien sind universell und nicht speziell für Reinräume entwickelt.

In der zweiten Stufe befindet sich die Lüfterfiltereinheit im Reinraum, verteilt über der oberen Schicht der physikalischen Isolierung innerhalb des Reinraums, und ihre Hauptfunktion besteht in der weiteren Behandlung anderer Feinpartikel, gasförmiger molekularer Schadstoffe und Mikroorganismen, die nach der ersten Vorbehandlungsstufe nicht in der Luft behandelt werden können, um die extrem hohen Anforderungen an die Luftreinigung zu erfüllen, beispielsweise in Produktionsstätten für Halbleiter und Biopharmazeutika. Die hierbei verwendete Filtertechnologie stellt hohe Anforderungen, und es ist notwendig, spezielle Filtermaterialien und ein wissenschaftliches Design der Luftstromführung entsprechend der Zusammensetzung der freigesetzten spezifischen chemischen Gase und den Sauberkeitsanforderungen zu entwickeln und herzustellen. Gleichzeitig sollten Auswahl, Verarbeitung und Design der Luftstromführung der Filtermaterialien sicherstellen, dass die Reinigungsanlage selbst während des Gebrauchs keine anderen Feinpartikel und gasförmigen molekularen Schadstoffe freisetzt, die eine Sekundärverschmutzung im Reinraum verursachen;

In der dritten Stufe wird die Luftzirkulation im Reinraum gereinigt. Die Rückluft wird über den Doppelboden und den Rücklufttunnel zur Lüfterfiltereinheit (einschließlich Hochleistungs-/Ultrahochleistungsfilter, Chemiefilter usw.) geleitet und anschließend zur erneuten Filterung in den Reinraum zurückgeführt. Der gesamte Reinigungsprozess erfolgt aktiv, mit erzwungener und kontinuierlicher Zirkulation, um die hohe Sauberkeit der Reinraumluft aufrechtzuerhalten.