Pontos-chave para testes em salas limpas na indústria eletrônica

Os principais parâmetros de teste para áreas limpas em salas limpas da indústria eletrônica incluem limpeza, velocidade do fluxo de ar transversal e taxa de renovação do ar, temperatura e umidade relativa, ruído e iluminação. A sequência de testes é a seguinte: velocidade do fluxo de ar transversal e taxa de renovação do ar > limpeza > ruído e temperatura/umidade, sendo que o teste de iluminação pode ser intercalado durante qualquer um dos outros processos de teste. Os motivos são os seguintes:

(1) A velocidade do fluxo de ar transversal ou a taxa de renovação do ar é uma garantia crucial para o fornecimento de ar limpo na sala limpa. Somente quando a velocidade do fluxo de ar transversal ou a taxa de renovação do ar atende aos requisitos é que faz sentido discutir a limpeza e outros parâmetros-chave da sala limpa.

(2) A limpeza é o parâmetro central que expressa o efeito de fornecimento de ar, a limpeza e a uniformidade da área limpa e é o reflexo mais direto do efeito de fornecimento de ar do sistema de ar condicionado da sala limpa.

(3) A velocidade do ar de suprimento, do ar de retorno ou do ar de exaustão e o nível de vibração dos dutos de ar são fatores importantes que afetam o ruído interno; a temperatura e a umidade do ar de suprimento afetam a temperatura e a umidade relativa internas.

(4) A iluminação da sala limpa é um parâmetro independente do desempenho do sistema de ar condicionado da sala limpa; portanto, os testes de iluminação podem ser intercalados durante os testes dos parâmetros-chave acima.

Para testes de limpeza, deve-se utilizar um contador óptico de partículas com volume de amostragem de no mínimo 1 L/min para a coleta de amostras de concentração de partículas. O número de pontos de teste deve ser determinado de acordo com a raiz quadrada da área da sala a ser testada, e os pontos de teste devem estar localizados na altura da área de trabalho (geralmente entre 750 e 900 mm do chão) e a uma distância de no mínimo 300 mm de qualquer equipamento ou parede; os pontos de teste devem ser distribuídos uniformemente e cobrir toda a área.

Para testes de velocidade do fluxo de ar transversal e taxa de renovação do ar, geralmente utiliza-se um anemômetro de precisão, cuja escala ou leitura mínima não deve exceder 0,02 m/s. Em salas limpas com fluxo unidirecional , a velocidade do fluxo de ar transversal deve ser medida em uma superfície desobstruída a 0,8 m do solo; caso haja alguma obstrução, a medição deve ser feita a 0,25 m acima da obstrução. A distância entre os pontos de medição na seção transversal pode variar de 0,3 a 0,5 m, e o número de pontos de medição geralmente não deve ser inferior a 20.

Para salas limpas com sistemas de ar condicionado e purificação HVAC , as medições de temperatura e umidade devem ser realizadas somente após o sistema estar em funcionamento contínuo por mais de 12 horas. Além disso, após a conclusão das medições de temperatura e umidade internas, a temperatura e a umidade externas também devem ser medidas. Geralmente, não há requisitos especiais para os instrumentos de medição de temperatura e umidade. Os pontos de medição de temperatura e umidade normalmente devem estar a uma altura de 0,8 m acima do solo e a mais de 0,5 m da superfície da parede externa.

Para medições de iluminância e ruído, geralmente utiliza-se um medidor de iluminância portátil para os testes de iluminância, com uma escala mínima de 21 lux. O ruído é geralmente medido apenas no nível sonoro ponderado A, e a escala mínima do medidor de nível sonoro não deve ser inferior a 0,2 dB(A). Os pontos de medição de iluminância devem estar localizados na altura da superfície de trabalho, a 0,85 m do solo, com um ponto para cada 25 m². Quando a área da sala for inferior a 30 m², os pontos de medição devem estar a 0,5 m da parede; quando a área for superior a 30 m², devem estar a 1 m da parede. Os pontos de medição de ruído devem estar entre 1,1 e 1,5 m do solo e, para evitar interferências de ecos da parede, devem estar a mais de 3 m da parede. Os pontos de medição devem ser distribuídos uniformemente, com um ponto de medição para cada 100 m².