النقاط الرئيسية لاختبارات غرف الأبحاث النظيفة في صناعة الإلكترونيات

تشمل معايير الاختبار الرئيسية للمناطق النظيفة في غرف العمليات النظيفة في صناعة الإلكترونيات: النظافة، وسرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي ومعدل تغيير الهواء، ودرجة الحرارة والرطوبة النسبية، والضوضاء، والإضاءة. ويكون تسلسل الاختبار كالتالي: سرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي ومعدل تغيير الهواء > النظافة > الضوضاء ودرجة الحرارة/الرطوبة، بينما يمكن إجراء اختبار الإضاءة خلال أي من عمليات الاختبار الأخرى. والأسباب هي كالتالي:

(1) تُعدّ سرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي أو معدل تغيير الهواء ضمانةً أساسيةً لتوصيل الهواء النظيف إلى الغرفة النظيفة. ولا يُمكن مناقشة نظافة الغرفة النظيفة وغيرها من المعايير الرئيسية إلا عندما تستوفي سرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي أو معدل تغيير الهواء المتطلبات.

(2) النظافة هي المعيار الأساسي الذي يعبر عن تأثير إمداد الهواء، والنظافة، وتجانس المنطقة النظيفة، وهي الانعكاس الأكثر مباشرة لتأثير إمداد الهواء لنظام تكييف الهواء في الغرفة النظيفة.

(3) سرعة الهواء المتدفق، أو الهواء العائد، أو الهواء العادم، ومستوى اهتزاز قنوات الهواء هي عوامل مهمة تؤثر على الضوضاء الداخلية؛ درجة حرارة الهواء المتدفق ورطوبته تؤثر على درجة الحرارة الداخلية والرطوبة النسبية.

(4) إضاءة الغرفة النظيفة هي معلمة مستقلة عن أداء نظام تكييف الهواء في الغرفة النظيفة؛ لذلك، يمكن إجراء اختبار الإضاءة أثناء اختبار المعلمات الرئيسية المذكورة أعلاه.

لإجراء اختبارات النظافة، يُنصح باستخدام عداد جسيمات بصري بحجم عينة لا يقل عن 1 لتر/دقيقة لقياس تركيز الجسيمات. ويُحدد عدد نقاط الاختبار وفقًا للجذر التربيعي لمساحة الغرفة المراد اختبارها، على أن تكون هذه النقاط على ارتفاع منطقة العمل (عادةً 750-900 مم فوق سطح الأرض) وعلى مسافة لا تقل عن 300 مم من أي جهاز أو جدار؛ ويجب أن تكون نقاط الاختبار موزعة بالتساوي لتغطي جميع المساحات.

لاختبار سرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي ومعدل تغيير الهواء، يُستخدم عادةً مقياس سرعة الرياح الدقيق، ويجب ألا تتجاوز قراءة الجهاز 0.02 متر/ثانية. في غرف التنظيف ذات التدفق أحادي الاتجاه ، تُقاس سرعة تدفق الهواء في المقطع العرضي على سطح خالٍ من العوائق على ارتفاع 0.8 متر فوق سطح الأرض؛ وفي حال وجود عائق، يُقاس على ارتفاع 0.25 متر فوقه. يمكن أن تتراوح المسافة بين نقاط القياس على المقطع العرضي بين 0.3 و0.5 متر، ويجب ألا يقل عدد نقاط القياس عن 20 نقطة.

في غرف الأبحاث النظيفة المزودة بأنظمة تكييف وتهوية وتنقية هواء ، يجب قياس درجة الحرارة والرطوبة بعد تشغيل النظام بشكل متواصل لأكثر من 12 ساعة. وبعد الانتهاء من قياس درجة الحرارة والرطوبة الداخلية، يجب قياس درجة الحرارة والرطوبة الخارجية أيضًا. عمومًا، لا توجد متطلبات خاصة لأجهزة قياس درجة الحرارة والرطوبة. عادةً ما يُشترط أن تكون نقاط القياس على ارتفاع 0.8 متر فوق سطح الأرض، وعلى بُعد أكثر من 0.5 متر من سطح الجدار الخارجي.

لقياس شدة الإضاءة والضوضاء، يُستخدم عادةً مقياس إضاءة محمول، بحد أدنى للقياس لا يتجاوز 21 لوكس. تُقاس الضوضاء عادةً عند مستوى الصوت الموزون A، ويجب ألا يقل الحد الأدنى لمستوى الصوت في مقياس مستوى الصوت عن 0.2 ديسيبل (A). يجب أن تكون نقاط قياس شدة الإضاءة على ارتفاع سطح العمل، أي 0.85 متر فوق سطح الأرض، بنقطة واحدة لكل 25 مترًا مربعًا. عندما تكون مساحة الغرفة أقل من 30 مترًا مربعًا، يجب أن تكون نقاط القياس على بُعد 0.5 متر من الجدار؛ وعندما تتجاوز المساحة 30 مترًا مربعًا، يجب أن تكون على بُعد متر واحد من الجدار. يجب أن تكون نقاط قياس الضوضاء على ارتفاع يتراوح بين 1.1 و1.5 متر فوق سطح الأرض، ولتجنب تداخل صدى الجدران، يجب أن تكون على بُعد أكثر من 3 أمتار من الجدار. يجب توزيع نقاط القياس بالتساوي، بنقطة قياس واحدة لكل 100 متر مربع.