Der Luftstrom im Reinraum ist ein wichtiger Faktor, der die Leistung des Reinraums beeinflusst. Im Allgemeinen liegt die Luftströmungsgeschwindigkeit im Reinraum zwischen 0,25 und 0,5 m/s. Diese Luftströmungsgeschwindigkeit gehört zum Bereich der Brise und kann leicht durch die Handlungen von Menschen und Maschinen gestört werden. . Obwohl eine Erhöhung der Windgeschwindigkeit den Einfluss dieser Störung unterdrücken und die Sauberkeit aufrechterhalten kann, wirkt sich die Erhöhung der Windgeschwindigkeit auf einen Anstieg der Betriebskosten aus. Wenn also der erforderliche Sauberkeitsgrad erreicht ist, kann mit der am besten geeigneten Windgeschwindigkeit gespeist werden. Erreichen einer angemessenen Windgeschwindigkeitsversorgung, um einen wirtschaftlichen Effekt zu erzielen.
Um andererseits den stabilen Effekt der Reinraumreinheit zu erreichen, ist auch die Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Luftstroms ein wichtiger Faktor. Wenn der gleichmäßige Luftstrom nicht aufrechterhalten werden kann, bedeutet dies, dass die Windgeschwindigkeit unterschiedlich ist. Es ist tatsächlich schwierig, eine hohe Sauberkeit zu erreichen.
Um einen gleichmäßigen Luftstrom in vertikaler laminarer Strömungsrichtung aufrechtzuerhalten: (a) darf die Windgeschwindigkeit auf der Ausblasfläche keine Geschwindigkeitsunterschiede aufweisen; (b) Die Windgeschwindigkeit an der Ansaugfläche des Bodenrücklaufpaneels darf keine Geschwindigkeitsunterschiede aufweisen. Ist die Geschwindigkeit zu niedrig oder zu hoch (0,2 m/s, 0,7 m/s), entstehen Wirbelströme, während die Geschwindigkeit von 0,5 m/s den Luftstrom gleichmäßiger macht. In allgemeinen Reinräumen beträgt die Windgeschwindigkeit 0,25 bis 0,5 m/s.
Die obige Einführung bezieht sich auf das Prinzip der Reinraum- und Windgeschwindigkeitskontrolle.
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