Pourquoi l’humidité relative de la salle blanche doit-elle être strictement contrôlée ?

Un mauvais contrôle de l’humidité relative peut dégrader les performances globales de la salle blanche et entraînera également une série d’effets. 1. Croissance bactérienne. Les bactéries et autres contaminations biologiques (moisissures, virus, champignons, acariens) peuvent se développer dans des environnements dont l'humidité relative est supérieure à 60 %. Certaines flores peuvent se développer lorsque l'humidité relative dépasse 30 %. L'humidité relative comprise entre 40 et 60 % minimise les effets des bactéries et des infections respiratoires. Par conséquent, l’humidité relative de la salle blanche doit être contrôlée dans une certaine plage. 2. Le personnel de la salle blanche ressent la plage confortable de température ambiante. Une humidité comprise entre 40 et 60 % constitue également une plage modérée pour le confort humain. Si l'humidité dans la salle blanche est trop élevée, les gens se sentiront étouffés, et si l'humidité est inférieure à 30 %, les gens se sentiront secs, gercés, inconfort respiratoire et inconfort émotionnel, ce qui affectera le travail. 3. L'humidité relative de la salle blanche n'est pas bien contrôlée et des charges électrostatiques se produisent. Les charges statiques commencent à se dissiper rapidement lorsque l'humidité relative dépasse 50 %, mais elles peuvent persister pendant de longues périodes sur les isolants ou les surfaces non mises à la terre lorsque l'humidité relative est inférieure à 30 %. Une humidité relative en salle blanche comprise entre 35 % et 40 % peut constituer un compromis satisfaisant, et les salles blanches de semi-conducteurs utilisent généralement des contrôles supplémentaires pour limiter l'accumulation de charge statique. 4. Un mauvais contrôle de l'humidité relative peut facilement provoquer une corrosion des métaux dans l'environnement propre. salle blanche modulaire . La vitesse de nombreuses réactions chimiques, y compris les processus de corrosion, augmente avec l’augmentation de l’humidité relative. Toutes les surfaces exposées à l’air ambiant de la salle blanche sont rapidement recouvertes d’au moins une monocouche d’eau. Lorsque ces surfaces sont composées de fines couches métalliques susceptibles de réagir avec l’eau, une humidité élevée peut accélérer la réaction. Certains métaux, comme l'aluminium, peuvent former une couche d'oxyde protectrice avec l'eau et empêcher d'autres réactions d'oxydation ; d'autres, comme l'oxyde de cuivre, ne sont pas protecteurs. Dans les environnements très humides, les surfaces en cuivre sont plus sensibles à la corrosion. 5. Condensation de vapeur d'eau. Dans les environnements de salles blanches pharmaceutiques avec une humidité relative élevée, les forces capillaires sous forme d’eau concentrée forment des liaisons entre les particules et les surfaces, ce qui peut augmenter l’adhésion des particules aux surfaces siliceuses. Cet effet, connu sous le nom de concentration Kelvin, n'est pas significatif lorsque l'humidité relative est inférieure à 50 %, mais devient la force dominante d'adhésion particule à particule lorsque l'humidité relative est d'environ 70 %. 6. Dégradation de la lithographie en salle blanche. Le besoin le plus pressant en matière de contrôle modéré dans les salles blanches de semi-conducteurs est la sensibilité de la résine photosensible. En raison de la nature extrêmement sensible de la résine photosensible à l’humidité relative, sa plage de contrôle de l’humidité relative est la plus stricte. L'humidité relative et la température sont essentielles à la stabilité de la résine photosensible et à un contrôle dimensionnel précis. Même dans des conditions de température constante, la viscosité de la résine photosensible diminue rapidement à mesure que l'humidité relative augmente. Bien entendu, la modification de la viscosité modifie l'épaisseur du film protecteur formé par le revêtement à composants fixes. De plus, dans des environnements à humidité relative élevée, le gonflement de la résine photosensible est aggravé après les cycles de cuisson en raison de l'absorption d'humidité. L’adhésion des photorésists peut également être affectée négativement par une humidité relative plus élevée ; une humidité relative plus faible (environ 30 %) facilite l'adhésion de la résine photosensible, même sans avoir recours à des modificateurs polymères tels que l'hexaméthyldisiloxane Azane (HMDS). 7. Absorption d'eau. Un mauvais contrôle de l’humidité relative aura un certain impact sur le rendement d’absorption d’eau de la salle blanche modulaire.

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