Unter Reinraum versteht man einen gut abgedichteten Raum, in dem Luftreinheit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Druck, Lärm und andere Parameter nach Bedarf kontrolliert werden
Die Entwicklung von Reinräumen ist eng mit der modernen Industrie und Spitzentechnologie verbunden. Aufgrund der Umweltanforderungen der Präzisionsmaschinenindustrie (z. B. Gyroskop- und Mikrolagerverarbeitung) und der Halbleiterindustrie (z. B. Produktion integrierter Schaltkreise in großem Maßstab) wird die Entwicklung der Reinraumtechnologie gefördert. Laut inländischen Statistiken beträgt die qualifizierte Produktionsrate von MOS-Schaltungschips in Umgebungen ohne Anforderungen an die Sauberkeitsstufe nur 10 bis 15 %, und 64 entspricht nur 2 % des Speichers. Derzeit werden Reinräume häufig in der Präzisionsmaschinen-, Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt-, Atomenergie- und anderen Industrien eingesetzt
Je nach Strömungszustand des Luftstroms
Je nach Strömungszustand der Luftströmung gibt es hauptsächlich drei Arten von Reinräumen mit Luftströmungsverteilung [1]:
(1) Reinraum mit nicht unidirektionaler Strömung: Er wird oft als Reinraum mit turbulenter Strömung bezeichnet, und der Luftstrom im Raum strömt nicht in eine einzige Richtung. Der Reinraum mit nicht unidirektionaler Strömung weist mehrere gemeinsame Merkmale auf: Der Endfilter (hoher Wirkungsgrad oder subhoher Wirkungsgrad) befindet sich so nah wie möglich am Reinraum, der der Luftversorgungsauslass sein oder direkt mit dem Luftversorgungsauslass verbunden sein kann angeschlossen an die Luftversorgungsbox des statischen Drucks des Raumes; Die Rückluftauslässe sind im unteren Teil des Reinraums angebracht, um das Phänomen zu vermeiden "Ascheheben". Vortex existiert in Reinräumen mit nicht unidirektionaler Strömung, was nicht für Reinräume mit hoher Reinheit geeignet ist, sondern für Reinräume mit Klasse 6 bis 9.
(2) Reinraum mit unidirektionaler Strömung: Der Luftstrom in Reinräumen mit unidirektionaler Strömung ist durch parallele Strömungslinien, Strömung in einer einzigen Richtung und konstante Windgeschwindigkeit im Querschnitt gekennzeichnet. Es gibt vertikale Reinräume mit unidirektionaler Strömung, quasi-vertikale Reinräume mit unidirektionaler Strömung, horizontale Reinräume mit unidirektionaler Strömung usw.
(3) Vektor-Reinraum: Für die Luftzufuhr in der oberen Ecke des Raums kann ein fächerförmiger Hochleistungsfilter verwendet werden, oder es kann ein gewöhnlicher Hochleistungsfilter mit fächerförmigem Luftzufuhrauslass und Luftrückführungsauslass verwendet werden im unteren Teil der anderen Seite angebracht. Das Höhen-Längen-Verhältnis des Raumes liegt im Allgemeinen zwischen 0,5 und 1. Diese Art von Reinraum kann auch eine Reinheitsklasse 5 (Klasse 100) erreichen.