اليوم، سأشرح لكم مبدأ العمل لمشروع الغرفة النظيفة، وهو أحد منتجاتنا الرئيسية
تشير الغرفة النظيفة إلى مساحة محكمة الغلق تتحكم في نظافة الهواء ودرجة الحرارة والرطوبة والضغط والضوضاء وغيرها من المعالم كما هو مطلوب
يرتبط تطوير الغرفة النظيفة ارتباطًا وثيقًا بالصناعة الحديثة والتكنولوجيا المتطورة. نظرًا للمتطلبات البيئية لصناعة الآلات الدقيقة (مثل الجيروسكوب ومعالجة المحامل الدقيقة) وصناعة أشباه الموصلات (مثل إنتاج الدوائر المتكاملة على نطاق واسع)، يتم تشجيع تطوير تكنولوجيا الغرف النظيفة. وفقًا للإحصاءات المحلية، فإن المعدل المؤهل لإنتاج قوالب دوائر MOS في البيئة دون متطلبات المستوى النظيف هو 10% ~ 15% فقط، و64 يمثل 2% فقط من الذاكرة. في الوقت الحاضر، تُستخدم الغرف النظيفة على نطاق واسع في الآلات الدقيقة وأشباه الموصلات والفضاء والطاقة الذرية وغيرها من الصناعات.
وفقا لحالة تدفق تدفق الهواء
وفقا لحالة تدفق الهواء، هناك ثلاثة أنواع رئيسية من الغرف النظيفة مع توزيع تدفق الهواء [1]:
(1) غرفة نظيفة ذات تدفق غير أحادي الاتجاه: غالبًا ما يطلق عليها غرفة نظيفة ذات تدفق مضطرب، ولا يتدفق تدفق الهواء في الغرفة في اتجاه واحد. تتميز الغرفة النظيفة ذات التدفق غير أحادي الاتجاه بالعديد من الخصائص المشتركة: يكون المرشح الطرفي (الكفاءة العالية أو الكفاءة الفرعية العالية) قريبًا من الغرفة النظيفة قدر الإمكان، والتي يمكن أن تكون منفذ إمداد الهواء أو متصلة مباشرة بمنفذ إمداد الهواء، أو متصلة بصندوق الضغط الثابت لإمداد الهواء بالغرفة؛ يتم ضبط منافذ الهواء الراجع في الجزء السفلي من الغرفة النظيفة لتجنب ظاهرة "رفع الرماد". توجد الدوامة في الغرف النظيفة ذات التدفق غير أحادي الاتجاه، وهي غير مناسبة للغرف النظيفة ذات النظافة العالية، ولكن للغرف النظيفة ذات الدرجة 6 ~ 9.
(2) غرفة نظيفة ذات تدفق أحادي الاتجاه: يتميز تدفق الهواء في غرفة نظيفة ذات تدفق أحادي الاتجاه بخطوط تدفق متوازية، وتدفق في اتجاه واحد، وسرعة رياح ثابتة على المقطع العرضي. هناك غرفة نظيفة عمودية أحادية الاتجاه، وتدفق أحادي الاتجاه شبه عمودي، وغرفة نظيفة ذات تدفق أفقي أحادي الاتجاه، وما إلى ذلك.
(3) غرفة نظيفة متجهة: يمكن استخدام مرشح عالي الكفاءة على شكل مروحة لتزويد الهواء في الزاوية العليا للغرفة، أو يمكن استخدام مرشح عادي عالي الكفاءة مع منفذ إمداد الهواء على شكل مروحة، ويكون مخرج إرجاع الهواء تعيين في الجزء السفلي من الجانب الآخر. تتراوح نسبة ارتفاع طول الغرفة بشكل عام بين 0.5 ~ 1. يمكن لهذا النوع من الغرف النظيفة أيضًا تحقيق نظافة الدرجة الخامسة (الدرجة 100).
