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Anwendung der Lüfterfiltereinheit im Reinraum

Anwendung der Lüfterfiltereinheit im Reinraum

Der Einsatz der FFU-Lüfterfiltereinheit kann effektiv Platz sparen und das Problem des engen Wartungsraums an der Decke im Reinraum lösen


 

Der Einsatz der FFU-Lüfterfiltereinheit kann effektiv Platz sparen und das Problem des engen Wartungsraums an der Decke im Reinraum lösen. Da die Reinraumwerkstatt auf hohem Niveau 100-stufige oder sogar 10-stufige Laminarströmungshauben benötigt, um die Prozessanforderungen zu erfüllen, wird der obere Teil der abgehängten Decke des Reinraums mit riesigen statischen Druckkästen für die Luftversorgung und statischen Druckkästen ausgestattet wird mit Beatmungsgeräten ausgestattet. Diese statischen Druckkästen nehmen zusammen mit den Zuluft- und Rückluftrohren viel Platz ein, was den Wartungsraum eng macht und manchmal sogar die Nutzung von Brandbekämpfungsdurchgängen beeinträchtigt.

Wenn wir FFU verwenden, wird die Decke des Reinraums in mehrere Module unterteilt, und jedes Modul ist ein FFU. Auf diese Weise können wir jedes Modul an die Anforderungen des Druckausgleichs des Zuluft-Anschlusskastens über der Decke anpassen und so die Anforderungen an die Höhe des Anschlusskastens erheblich reduzieren. Gleichzeitig können riesige Zuluft- und Rückluftkanäle eingespart werden, wodurch Bauraum eingespart werden kann. Insbesondere wenn das Sanierungsprojekt durch die Bodenhöhe begrenzt ist, kann FFU dieses Problem effektiv lösen. Darüber hinaus gibt es FFU in verschiedenen Größen, die individuell an die tatsächliche Größe des Reinraums angepasst werden können. Aus diesem Grund nimmt es im Anschlusskasten weniger Bodenhöhe ein oder nimmt im Reinraum sogar grundsätzlich nicht den Platz ein, sodass besser Platz gespart werden kann.

Die FFU-Lüfterfiltereinheit spielt im Reinraum eine wichtige Rolle. Die FFU-Flexibilität kann jederzeit angepasst werden, indem die strukturellen Merkmale der FFU-Unabhängigkeit genutzt werden, um den Mangel an Mobilität im Reinraum auszugleichen und so das Problem zu lösen, dass der Produktionsprozess nicht angepasst werden sollte.

Die Wartungsstruktur der Reinraumwerkstatt besteht im Allgemeinen aus Metallplatten. Nach der Fertigstellung kann das Layout nicht mehr beliebig verändert werden. Aufgrund der kontinuierlichen Aktualisierung des Produktionsprozesses kann das ursprüngliche Sauberkeitslayout der Werkstatt jedoch die Anforderungen des neuen Prozesses nicht erfüllen, was zu häufigen Änderungen des Reinraums aufgrund von Produktaustausch führt, was eine Menge finanzieller und materieller Ressourcen verschwendet.

Wenn die Anzahl der FFU erhöht oder verringert wird, kann die Sauberkeitsaufteilung des Raums teilweise angepasst werden, um den Prozessänderungen gerecht zu werden. Darüber hinaus verfügt die FFU über einen eigenen Stromanschluss, eigene Luftauslässe und Lampen, wodurch eine Menge Investitionen eingespart werden können. Es ist nahezu unmöglich, den gleichen Effekt für das Reinigungssystem mit zentraler Luftversorgung zu erzielen.

Da die FFU selbstversorgt ist, ist sie nicht auf die Region beschränkt. In einer großen, sauberen Werkstatt kann es je nach Bedarf zonenweise gesteuert werden. Darüber hinaus muss mit der Änderung des Halbleiterproduktionsprozesses das Anlagenlayout entsprechend angepasst werden. Die Flexibilität von FFU macht eine solche Anpassung einfach und führt nicht zu Sekundärinvestitionen.

 

 

Suzhou Pharma Machinery Co., Ltd.

2022/12/09

Spencer


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