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Método de teste para sala limpa

Método de teste para sala limpa

Determinação do volume de ar em sala limpa: Para uma sala limpa de fluxo unidirecional, o volume de fornecimento de ar é determinado pelo método da velocidade média do vento da seção da sala e do produto da área da seção transversal, 0,3 m de distância do filtro de alta eficiência, e a seção perpendicular ao fluxo de ar é usada como seção de teste de amostragem. A distância entre os pontos de medição não deve ser superior a 0,6 m, e o número de pontos de medição não deve ser inferior...

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Métodos de teste para sala limpa

Determinação do volume de ar em sala limpa: Para uma sala limpa de fluxo unidirecional, o volume de fornecimento de ar é determinado pelo método da velocidade média do vento da seção da sala e do produto da área da seção transversal, 0,3 m de distância do filtro de alta eficiência, e a seção perpendicular ao fluxo de ar é usada como seção de teste de amostragem. A distância entre os pontos de medição não deve ser superior a 0,6 m, o número de pontos de medição não deve ser inferior a 5 e a média aritmética das leituras da velocidade do vento de todos os pontos de medição deve ser considerada como a velocidade média do vento. Para salas limpas com fluxo não unidirecional, use o método tuyere ou o método do duto para determinar o volume de ar fornecido. O método tuyere consiste em conectar o duto de ar auxiliar de acordo com o formato da tubeira na tubeira onde está instalado o filtro de alta eficiência, ou seja, utilizar chapa de aço galvanizado ou outros materiais que não produzam poeira para fazer o mesmo formato e seção interna como a ventaneira, e o comprimento é igual a 2 vezes o comprimento da ventaneira. A seção reta do tubo com lado comprido é conectada à parte externa da ventaneira; no plano de saída do duto de ar auxiliar, o número mínimo de pontos de medição não é inferior a 6 pontos e estão dispostos uniformemente; para a seção longa e reta do tubo no lado de barlavento da tubeira e os furos foram ou podem ser perfurados, você pode usar o método do duto de ar para determinar o volume de ar, e a seção de medição deve estar localizada em uma posição maior ou igual a 3 vezes o diâmetro do tubo ou comprimento do lado longo antes do componente de resistência local, e 5 vezes o diâmetro do tubo ou comprimento do lado longo após o componente de resistência local; O tamanho do diâmetro do tubo, a seção é dividida em vários anéis concêntricos com a mesma área, cada anel é medido em 4 pontos, o número de anéis é determinado de acordo com o diâmetro do tubo, e não deve ser inferior a 3; para dutos de ar retangulares, a seção medida é dividida em várias. Cada seção pequena é o mais próximo possível de um quadrado e o comprimento lateral não deve ser superior a 200 mm. O ponto de medição deve estar localizado no centro da seção pequena, mas o número de pontos de medição em toda a seção não deve ser inferior a 3.

Medição de umidade e temperatura em sala limpa: De acordo com a faixa de flutuação de temperatura e umidade relativa, o instrumento correspondente com precisão suficiente deve ser selecionado para medição, e o intervalo entre cada medição não deve ser superior a 30 minutos. Disposição dos pontos de medição internos: na saída de ar de retorno; o centro da sala limpa sem requisitos de temperatura constante; a superfície representativa da área de trabalho com temperatura constante; os pontos de medição geralmente devem ser dispostos na mesma altura superior a 0,5m da superfície da parede externa e 0,8m do solo. Também pode ser disposto em vários planos a diferentes alturas do solo de acordo com o tamanho da zona de temperatura constante; para salas limpas com requisitos constantes de temperatura e umidade, a faixa de flutuação da temperatura ambiente é baseada na temperatura máxima do ponto de controle de desvio em cada temperatura de cada ponto de medição. A percentagem do número total de pontos de medição é organizada numa curva estatística cumulativa. Se o valor do desvio de mais de 90% dos pontos de medição estiver dentro da faixa de flutuações da temperatura ambiente, está em conformidade com os requisitos de projeto, caso contrário, não será qualificado; a temperatura regional é baseada na temperatura de teste mais baixa em cada ponto de medição. , a temperatura média de cada ponto de medição e o número de pontos que excedem o valor do desvio, como uma porcentagem do número total de pontos de medição, são classificados em uma curva estatística cumulativa, e o desvio alcançado por mais de 90% dos pontos de medição é a diferença de temperatura regional, que deve atender aos requisitos de projeto, e a faixa de flutuação relativa da temperatura pode ser determinada de acordo com Os regulamentos sobre a faixa de flutuação da temperatura ambiente são implementados. A Zhongjing Global Purification pode fornecer consultoria, planejamento, projeto, construção, instalação, transformação e outros serviços de suporte para salas limpas e salas limpas.

A diferença de pressão estática deve ser medida sob a condição de que todas as portas estejam fechadas, de alta pressão a baixa pressão, começando pela sala interna mais distante do exterior no layout plano, e medindo para fora por sua vez. O manômetro diferencial utilizado possui uma sensibilidade diferente. Deve ser inferior a 2pa; para salas limpas adjacentes de diferentes graus com furos conectados, deve haver uma direção de fluxo de ar razoável nas aberturas. Detecção de vazamento: Para detecção de vazamento de filtros de alta eficiência, um contador óptico de partículas com velocidade de amostragem superior a 1L/min deve ser usado, e um filtro de alta eficiência deve ser usado para detecção de vazamento de contadores de partículas. O lado contra o vento deve introduzir concentração uniforme de poeira atmosférica ou outras poeiras aerossóis. Ar; a detecção de filtros de alta eficiência adota o método de varredura, e a cabeça de amostragem isocinética do contador de partículas é usada no lado de sotavento do filtro e é colocada a 20-30 mm de distância da superfície da peça inspecionada. A inspeção de digitalização móvel é realizada na superfície, moldura e cola do cabeçote; a detecção da taxa de vazamento deve ser realizada sob a condição de velocidade do vento de projeto limpo, e a concentração de vazamento medida no lado a favor do vento do filtro de alta eficiência inspecionado deve ser convertida em transmitância, e o filtro de alta eficiência não deve ser Mais de 2 vezes a transmitância qualificada de fábrica.

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