المراحل خطوط إنتاج تصنيع أشباه الموصلات

يمكننا استخدام القياس البسيط المتمثل في بناء منزل لاستكشاف العملية المعقدة لتصنيع الرقائق:

خط الواجهة الأمامية لخط الإنتاج (FEOL): وضع الأساس

تشبه الطرف الأمامي لخط الإنتاج وضع الأساس وبناء جدار. في تصنيع أشباه الموصلات ، تتضمن هذه المرحلة إنشاء هياكل وترانزستورات أساسية على رقائق السيليكون.

الخطوات الرئيسية ل feol:

1. التنظيف: بدءًا من رقاقة رقيقة من السيليكون ، قم بتنظيفه لإزالة أي شوائب.

2. الأكسدة: زراعة طبقة من ثاني أكسيد السيليكون على الرقاقة لعزل أجزاء مختلفة من الشريحة.

3. الطباعة الحجرية: تُستخدم تقنية الطباعة الحجرية في حفر أنماط على رقائق ، والتي يمكن تخيلها على أنها رسم مخططات على الرقاقة مع الضوء.

4. النقش: حفر ثاني أكسيد السيليكون غير المرغوب فيه لفضح النمط المطلوب.

5. الحقن: إدخال الشوائب في السيليكون لتغيير خصائصه الكهربائية. هذه الخطوة تخلق ترانزستور ، وهو لبنة البناء الأساسية لأي شريحة.

خط الإنتاج المتوسط ​​(MEOL): ربط النقاط المختلفة

يشبه الطرف الأوسط لخط الإنتاج تثبيت الأسلاك والأنابيب ، ويتم تركيز هذه المرحلة على إنشاء اتصالات بين الترانزستورات التي تم إنشاؤها في FEOL.

الخطوات الرئيسية ل MEOL:

1. الترسب العازلة: ترسب طبقة عازلة (يشار إليها باسم عازلة) لحماية الترانزستور.

2. تكوين الاتصال: تشكيل جهات اتصال لتوصيل الترانزستورات ببعضها البعض وعلى العالم الخارجي.

3. الترابط: أضف طبقات معدنية لإنشاء مسارات إشارة كهربائية. على غرار وضع الأسلاك في المنزل لضمان تدفق سلس للكهرباء والبيانات.

نهاية الخط الخلفي لخط الإنتاج (Beol): العمل الختامي

تشبه الطرف الخلفي لخط الإنتاج الانتهاء من المنزل - تثبيت التركيبات والرسم وضمان كل شيء في النظام. في تصنيع أشباه الموصلات ، تتضمن هذه المرحلة إضافة الطبقة النهائية وإعداد الشريحة للتغليف.

الخطوات الرئيسية لبيول:

1. طبقة معدنية إضافية: تتم إضافة طبقات متعددة من المعدن لتعزيز التوصيل البيني ، مما يضمن أن الشريحة يمكنها التعامل مع المهام المعقدة والسرعات العالية.

2. التخميل: تطبيق طبقة واقية لحماية الشريحة من الأضرار البيئية.

3. الاختبار: تخضع الرقاقة للاختبار صارم لضمان الامتثال لجميع المواصفات.

4. القطع: يتم قطع الرقاقة إلى رقائق فردية ، يمكن تعبئتها واستخدامها في الأجهزة الإلكترونية.

شركة Suzhou Pharma Machinery Co. ، Ltd.

2025/07/11

جينو