النقاط الرئيسية لغرفة التنظيف الخاصة بأشباه الموصلات

باعتبارها بنية تحتية أساسية في صناعة أشباه الموصلات، يجب أن تلتزم غرف التنظيف الخاصة بأشباه الموصلات بمعايير عالية الدقة في تصميمها وبنائها وتشغيلها لخلق بيئة خالية من التلوث وضمان إنتاجية عالية للرقائق. ويمكن تلخيص النقاط الرئيسية على النحو التالي:

• يُعدّ مستوى النظافة المؤشر الأساسي، ويتطلب الامتثال لمعايير ISO 14644-1. يجب إجراء مراقبة وتسجيل فوريين كل دقيقة باستخدام عداد الجسيمات. يجب التحكم بدقة في درجة الحرارة والرطوبة، مع الحفاظ على درجة حرارة 22 درجة مئوية ± 0.5 درجة مئوية ورطوبة نسبية 45% ± 5%، بحيث لا تتجاوز التقلبات 0.1 درجة مئوية/ساعة و3% رطوبة نسبية/ساعة على التوالي. ويتم ضمان الاستقرار من خلال تكييف هواء دقيق ومعدات احتياطية.
• تعتمد آلية التحكم بالضغط على تصميم تدرج الضغط الموجب، حيث يبلغ فرق الضغط ≥15 باسكال بين منطقة التنظيف الرئيسية والمناطق المجاورة، و≥25 باسكال بين مناطق العمليات الحرجة والممرات. ويتبع تدفق الهواء نمطًا انسيابيًا أحادي الاتجاه بسرعة 0.45 متر/ثانية ± 0.1 متر/ثانية، وهو مزود بمرشحات ULPA أو HEPA (معدل التسرب <0.01%).
• يجب أن تكون الأسطح الداخلية مصنوعة من مواد ناعمة غير مسامية ومضادة للكهرباء الساكنة، مع درزات محكمة الإغلاق. يجب أن تتوافق المعدات والأثاث مع معايير غرف التنظيف. يدخل الأفراد ويخرجون عبر غرفة معادلة الضغط، مرتدين ملابس غرف التنظيف، ويخضعون لدش هوائي بسرعة ≥20 م/ث لمدة ≥15 ثانية. تُنقل المواد عبر نظام مزدوج.   صندوق تمرير الطبقات أو نظام قفل هوائي أوتوماتيكي، يتطلب التنظيف قبل الدخول.
• تعتمد المراقبة البيئية على شبكة استشعار موزعة، تقوم بأخذ عينات من معايير مثل الجسيمات العالقة، ودرجة الحرارة، والرطوبة، والضغط التفاضلي كل دقيقة. تُعاير أجهزة الاستشعار كل ستة أشهر، محققةً دقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية لدرجة الحرارة، و±2% رطوبة نسبية للرطوبة، و±1 باسكال للضغط التفاضلي. يجب التحكم بدقة في الاهتزازات والكهرباء الساكنة: سرعة اهتزاز الأرضية ≤25 ميكرومتر/ثانية، وجهد السطح ضمن نطاق ±100 فولت، وانحراف جهد توازن جهاز التأين ≤±10 فولت.
• تستخدم الإضاءة مصابيح مخصصة محكمة الإغلاق ومقاومة للغبار، بقوة إضاءة تتراوح بين 500 و1000 لوكس، وتجانس إضاءة لا يقل عن 0.8. ويتم التحكم في مستوى الضوضاء بحيث لا يتجاوز 65 ديسيبل (A)، ويُخفض إلى 55 ديسيبل (A) في المناطق الحساسة. يجب أن تكون الصيانة والتحقق من الأداء دوريين: حيث تُستبدل المرشحات كل 3 إلى 6 أشهر، وتُنظف الأسطح يوميًا، ويُعاير النظام كل 6 أشهر، ويُجرى فحص شامل للأداء سنويًا.

تغطي هذه النقاط الرئيسية المعايير التقنية الأساسية للغرف النظيفة، وهي قابلة للتطبيق على المراحل الحرجة مثل تصنيع الرقائق وتغليفها واختبارها. في التطبيقات العملية، يجب إجراء تقييمات للمخاطر وتحسينات ديناميكية بالتزامن مع تصميم المصنع لضمان تلبية الغرفة النظيفة باستمرار لمتطلبات الموثوقية العالية لإنتاج أشباه الموصلات.

شركة سوتشو فارما للآلات المحدودة

2026/02/27

مثلج