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Fale sobre a regulação da velocidade do fluxo de ar na engenharia de purificação
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A engenharia de purificação refere-se ao controle da limpeza, da temperatura e da umidade da atmosfera com a qual os produtos (como chips de silício, etc.) entram em contato, para que os produtos possam ser produzidos e fabricados em um bom espaço ambiental.
A velocidade do fluxo de ar refere-se à velocidade do fluxo de ar no projeto de purificação sala limpa modular . Uma vez que se baseia principalmente na diluição do ar para reduzir o grau de poluição interna, o conceito do número de trocas de ar é usado principalmente em vez do conceito direto de velocidade. Existem também os seguintes requisitos;
(1) A velocidade do fluxo de ar na saída de ar não deve ser muito grande. Em comparação com uma sala limpa modular simples com ar condicionado, quanto mais rápida for necessária a redução da velocidade, maior será o ângulo de difusão.
(2) A velocidade do fluxo de ar sobre o plano horizontal (por exemplo, a velocidade de recirculação durante a alimentação lateral) não deve ser muito grande, de modo a não soprar as partículas superficiais de volta para o fluxo de ar e causar recontaminação. Geralmente, a velocidade não deve ser superior a 0,2 m/s.
Para a sala limpa modular de engenharia de purificação de fluxo paralelo, a velocidade na seção transversal é um indicador muito importante porque a extrusão do pistão do fluxo de ar é usada principalmente para eliminar o tingimento.
são importantes para garantir a máquina de extração, e a máquina é utilizada por todos, desde máquina de extração até máquina de extração.
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