لماذا يتم التحكم بدقة في الرطوبة في غرف الأبحاث؟

الرطوبة النسبية هي حالة شائعة الاستخدام للتحكم البيئي أثناء عمليات غرف الأبحاث. يتم التحكم في أهداف الرطوبة النسبية النموذجية في غرف الأبحاث الخاصة بأشباه الموصلات في نطاق تقريبي يتراوح بين 30 إلى 50%، مع تفاوتات ضمن نطاق ضيق يبلغ ±1%، كما هو الحال في مناطق الطباعة الحجرية الضوئية - أو حتى أكثر في مناطق المعالجة العميقة للأشعة فوق البنفسجية (DUV). صغير - بينما في أماكن أخرى يمكن الاسترخاء في حدود ±5%. تحتوي الرطوبة النسبية على سلسلة من العوامل التي قد تؤدي إلى انخفاض الأداء العام لجهاز أ غرفة نظيفة ، ومنها: 1. نمو البكتيريا. 2. النطاق الذي يشعر فيه الموظفون بالراحة في درجة حرارة الغرفة؛ 3. حدوث رسوم ثابتة. 4. تآكل المعادن 5. تكثيف بخار الماء 6. تدهور الطباعة الحجرية. 7. امتصاص الماء. على مر السنين، التحكم في رطوبة الهواء ضمن النطاق المحدد أجبرنا على تحمل تكاليف رأس المال والتشغيل. ولكن لماذا يستحق إنفاق الكثير من المال على التحكم في الرطوبة النسبية في أ غرفة نظيفة فارما ؟ يمكن للبكتيريا وغيرها من الملوثات البيولوجية (العفن والفيروسات والفطريات والعث) أن تزدهر في البيئات التي تزيد فيها الرطوبة النسبية عن 60%. يمكن لبعض النباتات أن تنمو عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 30%. يتم تقليل تأثيرات البكتيريا والتهابات الجهاز التنفسي إلى الحد الأدنى عندما تكون الرطوبة النسبية في حدود 40% إلى 60%. الرطوبة النسبية التي تتراوح بين 40% إلى 60% تعتبر أيضًا نطاقًا معتدلًا لراحة الإنسان. الرطوبة العالية يمكن أن تجعل الناس يشعرون بالاختناق، في حين أن الرطوبة أقل من 30٪ يمكن أن تجعل الناس يشعرون بالجفاف، وتشقق الجلد، وعدم الراحة في التنفس، وعدم الراحة العاطفية. تعمل الرطوبة العالية في الواقع على تقليل تراكم الشحنات الساكنة على أسطح غرف الأبحاث، وهي النتيجة المرجوة. تعد الرطوبة المنخفضة أكثر ملاءمة لتراكم الشحنات ومصدرًا محتملاً للتفريغ الكهروستاتيكي. تبدأ الشحنات الساكنة في التبدد بسرعة عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 50%، ولكنها يمكن أن تستمر على العوازل أو الأسطح غير المؤرضة لفترات طويلة من الزمن عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30%. تعتبر الرطوبة النسبية بين 35% و40% مريحة، وعادةً ما تستخدم غرف الأبحاث شبه الموصلة ضوابط إضافية للحد من تراكم الشحنات الساكنة. ويزداد معدل العديد من التفاعلات الكيميائية، بما في ذلك عمليات التآكل، مع زيادة الرطوبة النسبية. تتم تغطية جميع الأسطح المعرضة للهواء المحيط بغرفة الأبحاث بسرعة بطبقة أحادية من الماء على الأقل. عندما تتكون هذه الأسطح من طبقات معدنية رقيقة يمكن أن تتفاعل مع الماء، يمكن للرطوبة العالية أن تسرع التفاعل. ولحسن الحظ، يمكن لبعض المعادن، مثل الألومنيوم، أن تشكل طبقة أكسيد واقية مع الماء وتمنع المزيد من تفاعلات الأكسدة؛ لكن الحالة الأخرى، مثل أكسيد النحاس، ليست وقائية، لذلك في البيئات ذات الرطوبة العالية، تكون الأسطح النحاسية أكثر عرضة للتآكل. في بيئة ذات رطوبة نسبية عالية، تشكل القوى الشعرية على شكل ماء مركز روابط بين الجزيئات والسطح، مما قد يزيد من التصاق الجزيئات بالسطح السيليسي. هذا التأثير - تركيز كلفن - ليس مهمًا عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 50%، ولكنه يصبح القوة المهيمنة على التصاق جسيم إلى جسيم عندما تكون الرطوبة النسبية حوالي 70%. إن الحاجة الأكثر إلحاحًا للتحكم المعتدل في غرف الأبحاث الخاصة بأشباه الموصلات هي الحساسية لمقاومة الضوء. نظرًا للطبيعة الحساسة للغاية لمقاوم الضوء للرطوبة النسبية، فإن نطاق التحكم في الرطوبة النسبية هو الأكثر صرامة. في الواقع، تعد كل من الرطوبة النسبية ودرجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية لاستقرار مقاوم الضوء والتحكم الدقيق في الأبعاد. حتى في ظل ظروف درجة الحرارة الثابتة، فإن لزوجة مقاوم الضوء ستنخفض بسرعة مع ارتفاع الرطوبة النسبية. وبطبيعة الحال، يؤدي تغيير اللزوجة إلى تغيير سمك الطبقة الواقية التي تشكلها طبقة المكون الثابت. وبالإشارة إلى مدينتين، أكد أحد الاختبارات أن التغير بنسبة 3% في الرطوبة النسبية من شأنه أن يغير سمك الحماية بمقدار 59.2 أمبير. بالإضافة إلى ذلك، في بيئات الرطوبة النسبية العالية، يتفاقم التورم المقاوم للضوء بعد دورات الخبز بسبب امتصاص الرطوبة. يمكن أيضًا أن يتأثر التصاق مقاوم الضوء سلبًا بالرطوبة النسبية المرتفعة؛ انخفاض الرطوبة النسبية (حوالي 30٪) يجعل التصاق مقاوم الضوء أسهل حتى دون الحاجة إلى معدلات بوليمرية مثل سداسي ميثيل ديسيلوكسان أزان (HMDS).

SUZHOU PHARMA MACHINERY CO.,LTD. يقدم عددًا كبيرًا من الميزات والإمكانيات لمساعدتك في اكتساب العملاء والاحتفاظ بهم وتعزيز المبيعات وإدارة جهات الاتصال.

SUZHOU PHARMA MACHINERY CO.,LTD. تسعى إلى قيادة الصناعة من خلال غرس الفخر في نفوس عملائنا، وخلق قيمة للسوق وتقاسم المسؤولية في جميع أنحاء العالم.

SUZHOU PHARMA MACHINERY CO.,LTD. نركز دائمًا على حالة السوق العالمية ونتفهم العوامل المهمة لتصنيع خدمات الحلول المخصصة